Trosolwg o'r cynnyrch
Wedi'i ddatblygu gan Nice{0}}Tech, mae'r MSE 100 yn system integredig 12-modfedd wedi'i theilwra'n benodol ar gyfer ysgythru stac metel arbennig - ei ddiben craidd yw cefnogi senarios gweithgynhyrchu dyfeisiau cof sy'n dod i'r amlwg.
Mae nodwedd amlwg y system hon yn gorwedd yn ei gallu integreiddio: mae'n cyfuno Ysgythriad Ion Adweithiol (RIE), Siapio Trawst Ion (IBS), a phrosesau goddefol yn-situ yn un uned. A'r prif reswm dros y dyluniad hwn yw bodloni gofynion prosesu sawl math o staciau metel cymhleth-meddwl Cyffyrdd Twnnel Magnetig (MTJs) mewn Cof Mynediad ar Hap Magnetig (MRAM), haenau newid cyfnod aloi yn Phase Change RAM (PCRAM), a staciau gwrthiannol mewn RAM Gwrthiannol (ReRAM). Mae'r rhain i gyd yn feysydd ffocws allweddol yn y diwydiant ar hyn o bryd.
Mae'r math hwn o stac metel yn dueddol o gynhyrchu sgil-gynhyrchion anweddol, gan wneud patrwm yn hynod heriol-sy'n bwynt poen parhaus i'r diwydiant. Mae'r LMEC-300™ yn mynd i'r afael â'r mater hwn yn berffaith. Trwy fabwysiadu dyluniad proses integredig o fewn amgylchedd gwactod, mae'n goresgyn cyfyngiadau dulliau un-broses traddodiadol. A siarad yn onest, mae'n darparu datrysiad eithaf sefydlog a dibynadwy ar gyfer prosesau gweithgynhyrchu allweddol dyfeisiau cof sy'n dod i'r amlwg.
Manteision
Proses Gwactod Integredig
Mae'n ymwneud â chyfuno ysgythru, sychlanhau, ac yn-passivation situ-fel hyn, gallwn atal metel wal ochr rhag ocsideiddio, ac mae hynny'n rhoi hwb braf i ddibynadwyedd dyfeisiau'n uniongyrchol.
Synergedd Technoleg Ddeuol
Pan fydd RIE ac IBS yn gweithio gyda'i gilydd, mae pethau da yn digwydd. Yr halogiad wal ochr RIE? Wedi mynd. Y terfynau lled llinell a oedd yn arfer dal IBS yn ôl? Wedi torri drwodd. Mae'n fuddugoliaeth-go iawn am berfformiad.
Addasiad Hyblyg
Mae'r system hon yn eithaf amlbwrpas-mae'n trin MRAM, PCRAM, ReRAM, a hyd yn oed synwyryddion heb unrhyw ffwdan. Ac os ydych chi'n ychwanegu'r siambr masgiau caled dewisol? Mae gennych chi un datrysiad ysgythru cyfan-mewn-sy'n gweithio ar gyfer nodau Llai na neu'n hafal i 55nm hefyd.
Màs-Cynhyrchu'n Barod
Mae'n ticio'r blwch ar gyfer safonau wafferi 12 modfedd, sy'n hollbwysig. Ar gyfer llinellau cynhyrchu ar raddfa fawr, mae hynny'n golygu bod perfformiad yn aros yn sefydlog ac yn gyson - dim syrpréis annymunol pan fyddwch chi'n cynyddu.
Ceisiadau
Gweithgynhyrchu cof sy'n dod i'r amlwg
Ysgythru MTJs (MRAM), haenau newid cyfnod PCRAM, a staciau gwrthiannol ReRAM .
Prosesu pentwr metel arbennig
Yn ysgythru staciau metel/aloi nad ydynt yn anweddol gyda chyfansoddiadau cymhleth .
Prosesau pen ôl IC 12-modfedd
Cefnogi nodau uwch sy'n gofyn am ysgythru metel manwl uchel a thrin masgiau caled integredig .
Paramedrau
|
Categori |
Manylion |
|
Cydweddoldeb Wafer |
wafferi 12-modfedd (300mm); y gellir ei addasu i brosesu integredig wafferi maint mawr ar gyfer cynhyrchu màs lled-ddargludyddion |
|
Ffurfweddiad y Siambr |
3 siambr graidd: siambr Chimera N RIE, siambr Pangea A IBS, Basalt A yn-siambr dyddodiad; Chimera dewisol Siambr agor mwgwd caled |
|
Amgylchedd Proses |
Gweithred-wactod-llawn; yn osgoi amlygiad amgylchynol i atal ocsidiad a hydradiad metel wal ochr |
|
Deunyddiau Targed |
Pentyrrau metel arbennig cymhleth (MRAM MTJs, haenau newid gwedd PCRAM, -ocsid-staciau gwrthiannol metel ReRAM metel) |
|
Nodau Technoleg |
Yn gydnaws â nodau uwch i lawr i 55nm; yn bodloni-anghenion patrwm manylder uchel |
|
Galluoedd Proses Allweddol |
1. Prosesu un stop (ysgythriad plasma, sychlanhau, goddefiad yn-situ); 2. RIE-synergedd IBS ar gyfer datrysiadau halogiad a lled llinell; 3. Mwgwd caled dewisol-i-ysgythru integredig haen swyddogaethol |
|
Cydymffurfiad Diwydiannol |
Yn mabwysiadu cydrannau safonol llinell gynhyrchu IC 12-modfedd; yn cydymffurfio â safonau dylunio SEMI; yn pasio profion sefydlogrwydd llym |
FAQ
C: Pa faint afrlladen y mae'r MSE 100 yn ei gefnogi?
A: Yn cefnogi wafferi 12 modfedd (300mm) ar gyfer cynhyrchu màs lled-ddargludyddion.
C: Ar gyfer pa ddyfeisiau y mae'n addas?
A: Yn ddelfrydol ar gyfer dyfeisiau cof sy'n dod i'r amlwg (MRAM, PCRAM, ReRAM) a phrosesu pentwr metel arbennig.
C: Pa brosesau craidd y mae'n eu hintegreiddio?
A: Yn cyfuno RIE, IBS, a passivation in situ; ysgythriad masg caled dewisol i bawb-mewn-un datrysiad.
C: Pa nodau technoleg y mae'n gydnaws â nhw?
A: Yn cefnogi nodau uwch i lawr i 55nm.
C: A yw'n bodloni safonau cynhyrchu diwydiannol?
A: Ydy, yn cydymffurfio â safonau SEMI ac yn defnyddio cydrannau safonol fab 12 modfedd.
Tagiau poblogaidd: metel caled-system ysgythru haen, gweithgynhyrchwyr system ysgythru haen metel caled Tsieina, cyflenwyr
