Trosolwg o'r cynnyrch
Mae'r SE Series Cu{0}}Ti Ysgythru Cyfarpar Integredig yn ymwneud ag ysgythru gwlyb arbenigol ar gyfer pecynnu uwch lled-ddargludyddion-wedi'i gynllunio i drin wafferi 8-12 modfedd yn ddi-dor. Mae'n ddatrysiad ysgythru metel cwbl addasadwy, felly gallwch chi ei addasu i gyd-fynd â'ch gosodiad: dewiswch unrhyw le o 2 i 8 siambr, ac mae'n gweithio gyda 2-4 SMIF POD neu FOUP cludwyr.
O dan y cwfl, mae ganddo reolaeth gemegol integredig (gyda chefnogaeth CCSS/LCSS) a-rheolaethau proses solet-roc-meddwl am wresogi manwl gywir, addasiadau crynodiad, a rheoleiddio llif/pwysau. Nid yw diogelwch yn ôl-ystyriaeth chwaith: mae amddiffyniad gorboethi a chanfod gollyngiadau yn safonol, felly gallwch chi redeg gweithrediadau'n hyderus. Hefyd, mae cyfathrebu SECS / GEM llawn yn golygu ei fod yn slotio i'ch llifoedd gwaith presennol.
Ar ddiwedd y dydd, mae'r system hon wedi'i hadeiladu ar gyfer un swydd allweddol: ysgythru haen fetel Cu-Ti effeithlon sy'n cadw prosesau pecynnu uwch i redeg yn llyfn ac yn ddibynadwy.
Manteision
1.Format & Configuration Hyblygrwydd
Yn cefnogi wafferi 8-12-modfedd; 2-8 siambrau (addasadwy) i gyd-fynd â'r raddfa gynhyrchu.
Yn addasu i 2-4 cludwr SMIF POD/FOUP, gan ffitio etifeddiaeth / logisteg ffantastig fodern.
Gallu Ysgythru Metel 2.Targeded
Yn arbenigo ar gyfer ysgythru haenau metel Cu/Ti, gyda chemegau dewisol (ysgythur, SC1+Megasonic, ac ati) ar gyfer addasu prosesau.
3.Effeithlon a Chost-Effeithiol
Integreiddio adennill cemegol a gwacáu dosbarthedig (asid/sylfaen/organig) i leihau gwastraff materol a chostau gweithredu.
Mae rheolaeth broses fanwl gywir yn sicrhau ansawdd ysgythru unffurf ar draws sypiau.
4.Safety & Integreiddio
Wedi'i adeiladu-mewn amddiffyniad gorboethi, canfod gollyngiadau, a draeniad dosbarthedig ar gyfer gweithrediad diogel.
Mae cefnogaeth lawn SECS / GEM yn galluogi cysylltiad di-dor â systemau MES gwych.
Ceisiadau
Maes Craidd:Pecynnu uwch lled-ddargludyddion.
Proses allweddol:Ysgythriad gwlyb o haenau metel Cu (copr) a Ti (titaniwm) mewn llifoedd gwaith pecynnu uwch (ar gyfer patrwm haenau metel, ffabrigo strwythur pecynnu ategol).
Paramedrau
|
Manyleb |
Manylion |
|
Maint Wafferi |
8-12 modfedd |
|
Siambrau |
2-8 siambr (yn cefnogi addasu) |
|
Cydnawsedd Cludydd |
2-4 SMIF POD/FOUP |
|
Cemegau â Chymorth |
Etchant,SC{0}}Megasonic,DHF,DICO2,N2(ffurfweddadwy) |
|
Cymorth Cyflenwi Cemegol |
CCSS, LCSS |
|
Nodweddion Rheoli Proses |
Rheoli gwresogi, rheoli crynodiad, rheoli cyfradd llif, |
|
Rheoli gwacáu |
Gwactod ar wahân ar gyfer asid, sylfaen ac organig |
|
Nodweddion Ychwanegol |
Adennill cemegolion; Amddiffyn gorgynhesu Caerfaddon; Gollyngiad |
|
Protocol Cyfathrebu |
SECS/GEM |
|
Maes Cais Targed |
Pecynnu uwch |
Cwestiynau Cyffredin
C: Pa feintiau wafferi y mae'r offer hwn yn eu cefnogi?
A: Mae'n gydnaws â wafferi 8-12 modfedd, sy'n cwmpasu fformatau cyffredin mewn pecynnu uwch.
C: A ellir addasu nifer y siambrau?
A: Oes-mae modd addasu maint y siambr (2–8 siambr) i gyd-fynd â'ch graddfa gynhyrchu.
C: Pa gludwyr y mae'n gweithio gyda nhw?
A: Mae'n cefnogi 2-4 cludwr SMIF POD / FOUP, gan addasu i systemau logisteg hynafol a modern.
C: Pa ddeunyddiau y gall ysgythru?
A: Mae'n arbenigo ar gyfer ysgythru gwlyb haenau metel Cu (copr) a Ti (titaniwm) mewn pecynnu uwch.
C: A oes ganddo nodweddion arbed costau?
A: Ydy-mae adferiad cemegol integredig a gwacáu gwacáu dosbarthedig yn helpu i leihau gwastraff materol a chostau gweithredu.
C: A all gysylltu â MES ein ffatri?
A: Yn hollol{0}}mae'n cefnogi'n llawn y protocol cyfathrebu SECS/GEM ar gyfer integreiddio MES di-dor.
Tagiau poblogaidd: etcher cu a ti, Tsieina cu a ti etcher gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr
