System Ysgythru Silicon

System Ysgythru Silicon

Mae Nice{0}Tech yn cynnig dwy system ysgythru silicon bwrpasol ar gyfer gwahanol feintiau wafferi, yn seiliedig ar dechnoleg ICP ac wedi'u teilwra ar gyfer masgynhyrchu IC.
Anfon ymchwiliad
Disgrifiad

Trosolwg o'r cynnyrch

Mae Nice{0}Tech yn cynnig dwy system ysgythru silicon bwrpasol ar gyfer gwahanol feintiau wafferi, yn seiliedig ar dechnoleg ICP ac wedi'u teilwra ar gyfer masgynhyrchu IC.

System 12 modfedd (SES-12)

Yn canolbwyntio ar brosesau pen blaen IC 12-modfedd- (FEOL). Yn cynnwys siambrau etch ICP a modiwl trosglwyddo, mae'n cwmpasu ysgythriad silicon, ysgythriad deuelectrig, ysgythriad giât, cilfach W, a SADP, wedi'i gynllunio ar gyfer patrwm manwl uchel o resymeg a dyfeisiau cof.

System 8 modfedd (SES-8)

System amlsiambr ar gyfer ffabrigau 8 modfedd, yn canolbwyntio ar brosesau giatiau. Mae'n sicrhau Llai na neu'n hafal i 5% o fewn-wafferi a wafferi- unffurfiaeth etch i wafferi, rheolaeth gronynnau ardderchog, ac yn cefnogi AA, STI, spacer, ac W toriad.

 

Manteision

 
 

Cwmpas Proses Eang

Mae gennym ni ddau brif setiad yma. Mae'r system 12-modfedd yn cymryd pob math o brosesau FEOL, dim problem. Beth am yr un 8 modfedd? Mae'n canolbwyntio ar gât a phrosesau cysylltiedig, ac mae'n cyd-fynd yn berffaith â nodau 0.11μm ac uwch.

 
 
 

Manylder Uchel a Sefydlogrwydd

Cywirdeb yw lle mae'r systemau hyn yn disgleirio. Mae'r model 12 modfedd yn darparu unffurfiaeth haen uchaf a detholedd ysgythru - yn union yr hyn y mae prosesau datblygedig yn gofyn amdano. Mae'r fersiwn 8-modfedd yn dal ei hun hefyd: gwyriad unffurfiaeth isel, ynghyd â rheolaeth gronynnau llym, felly gallwch chi ddibynnu ar ganlyniadau cyson.

 
 
 

Màs-Cynhyrchu a Chost-Effeithlonrwydd

Gorau oll, mae'r ddau yn barod ar gyfer cynhyrchu màs. Mae'r modfedd 12 wedi'i hadeiladu ar gyfer llinellau cynhyrchu ar raddfa fawr, sy'n gwneud synnwyr ar gyfer rhediadau cyfaint uchel. Mae'r 8-modfedd, fodd bynnag, yn ddewis craff os ydych chi'n uwchraddio gallu - mae'n arbed gofod a chost, sydd bob amser yn fantais i weithrediadau.

 

 

Cais

IC Gweithgynhyrchu FEOL

System 12-modfedd ar gyfer prosesau rhesymeg/cof FEOL 12-modfedd; System 8 modfedd ar gyfer ysgythru giât 8 modfedd.

Prosesau Uwch

Mae system 12-modfedd yn cefnogi toriad SADP/W; Mae system 8 modfedd yn gweithio ar gyfer prosesau STI / spacer.

Uwchraddio Cynhwysedd

12-modfedd yn integreiddio i fabs mawr; Mae 8-modfedd yn darparu cymorth cost-effeithiol ar gyfer ffabrigau canolig-bach.

 

Paramedrau

 

Categori

System Ysgythru Silicon 12-modfedd

System Ysgythru Silicon 8-modfedd

Cydweddoldeb Wafer

Wafferi IC 12-modfedd (300mm), wedi'u haddasu ar gyfer llinellau masgynhyrchu

wafferi IC 8-modfedd; gydnaws â nodau 0.11μm a thechnoleg uwch

Ffurfweddiad y Siambr

Siambrau etch ICP + modiwl trosglwyddo

Siambrau etch ICP + modiwl trosglwyddo; dylunio siambr aml-ar gyfer masgynhyrchu

Galluoedd Proses Allweddol

Ysgythriad silicon, ysgythriad deuelectrig, etch giât, cilfach W, SADP

Ysgythriad giât, AA, STI, spacer etch, cilfach W

Etch Unffurfiaeth

Rheolaeth unffurfiaeth uwch (yn cwrdd â safonau manylder nodau uwch)

Llai na neu'n hafal i 5% o fewn-wafer; Llai na neu'n hafal i 5% o wafferi i-waffer

Rheoli Gronynnau

Rheoli gronynnau llym ar gyfer cynnyrch cynnyrch uchel

Rheolaeth gronynnau ardderchog ar gyfer cynhyrchu màs sefydlog

Cydymffurfiad Diwydiannol

Yn addas ar gyfer cynhyrchu cyfaint IC 12-modfedd; yn cydymffurfio â safonau masgynhyrchu lled-ddargludyddion

Dyluniad optimeiddio annibynnol; yn ffitio gofod gwych 8-modfedd a gofynion cost ar gyfer uwchraddio capasiti

 

FAQ

 

C: Pa feintiau wafferi y mae'r ddwy system yn eu cefnogi?

A: Mae'r system 12 modfedd yn cefnogi wafferi IC 12 modfedd (300mm), ac mae'r system 8 modfedd yn cefnogi wafferi IC 8-modfedd.

C: Pa brosesau craidd y maent yn eu cwmpasu?

A: Mae'r system 12 modfedd yn cwmpasu ysgythriad silicon, ysgythriad deuelectrig, SADP, cilfach W, ac ati; mae'r system 8-modfedd yn canolbwyntio ar etch giât ac yn cefnogi STI, spacer etch, ac ati.

C: Pa nodau technoleg y maen nhw'n gydnaws â nhw?

A: Mae'r system 12 modfedd yn addasu i nodau technoleg uwch; mae'r system 8-modfedd yn gydnaws â nodau uwch 0.11μm ac uwch.

C: A yw'r ddwy system yn addas ar gyfer cynhyrchu màs?

A: Ydw. Mae'r system 12 modfedd yn ffitio llinellau cynhyrchu ar raddfa fawr, tra bod y system 8 modfedd yn arbed gofod ac yn gost-effeithiol ar gyfer masgynhyrchu.

C: Beth yw unffurfiaeth etch y system 8-modfedd?

A: Mae ganddo Lai na neu'n hafal i 5% o fewn-unffurfiaeth wafferi a Llai na neu'n hafal i 5% wafferi -i-unffurfiaeth wafferi.

 

Tagiau poblogaidd: system ysgythru silicon, gweithgynhyrchwyr system ysgythru silicon Tsieina, cyflenwyr

Anfon ymchwiliad