Trosolwg o'r cynnyrch
Mae Nice{0}Tech yn cynnig dwy system ysgythru silicon bwrpasol ar gyfer gwahanol feintiau wafferi, yn seiliedig ar dechnoleg ICP ac wedi'u teilwra ar gyfer masgynhyrchu IC.
System 12 modfedd (SES-12)
Yn canolbwyntio ar brosesau pen blaen IC 12-modfedd- (FEOL). Yn cynnwys siambrau etch ICP a modiwl trosglwyddo, mae'n cwmpasu ysgythriad silicon, ysgythriad deuelectrig, ysgythriad giât, cilfach W, a SADP, wedi'i gynllunio ar gyfer patrwm manwl uchel o resymeg a dyfeisiau cof.
System 8 modfedd (SES-8)
System amlsiambr ar gyfer ffabrigau 8 modfedd, yn canolbwyntio ar brosesau giatiau. Mae'n sicrhau Llai na neu'n hafal i 5% o fewn-wafferi a wafferi- unffurfiaeth etch i wafferi, rheolaeth gronynnau ardderchog, ac yn cefnogi AA, STI, spacer, ac W toriad.
Manteision
Cwmpas Proses Eang
Mae gennym ni ddau brif setiad yma. Mae'r system 12-modfedd yn cymryd pob math o brosesau FEOL, dim problem. Beth am yr un 8 modfedd? Mae'n canolbwyntio ar gât a phrosesau cysylltiedig, ac mae'n cyd-fynd yn berffaith â nodau 0.11μm ac uwch.
Manylder Uchel a Sefydlogrwydd
Cywirdeb yw lle mae'r systemau hyn yn disgleirio. Mae'r model 12 modfedd yn darparu unffurfiaeth haen uchaf a detholedd ysgythru - yn union yr hyn y mae prosesau datblygedig yn gofyn amdano. Mae'r fersiwn 8-modfedd yn dal ei hun hefyd: gwyriad unffurfiaeth isel, ynghyd â rheolaeth gronynnau llym, felly gallwch chi ddibynnu ar ganlyniadau cyson.
Màs-Cynhyrchu a Chost-Effeithlonrwydd
Gorau oll, mae'r ddau yn barod ar gyfer cynhyrchu màs. Mae'r modfedd 12 wedi'i hadeiladu ar gyfer llinellau cynhyrchu ar raddfa fawr, sy'n gwneud synnwyr ar gyfer rhediadau cyfaint uchel. Mae'r 8-modfedd, fodd bynnag, yn ddewis craff os ydych chi'n uwchraddio gallu - mae'n arbed gofod a chost, sydd bob amser yn fantais i weithrediadau.
Cais
IC Gweithgynhyrchu FEOL
System 12-modfedd ar gyfer prosesau rhesymeg/cof FEOL 12-modfedd; System 8 modfedd ar gyfer ysgythru giât 8 modfedd.
Prosesau Uwch
Mae system 12-modfedd yn cefnogi toriad SADP/W; Mae system 8 modfedd yn gweithio ar gyfer prosesau STI / spacer.
Uwchraddio Cynhwysedd
12-modfedd yn integreiddio i fabs mawr; Mae 8-modfedd yn darparu cymorth cost-effeithiol ar gyfer ffabrigau canolig-bach.
Paramedrau
|
Categori |
System Ysgythru Silicon 12-modfedd |
System Ysgythru Silicon 8-modfedd |
|
Cydweddoldeb Wafer |
Wafferi IC 12-modfedd (300mm), wedi'u haddasu ar gyfer llinellau masgynhyrchu |
wafferi IC 8-modfedd; gydnaws â nodau 0.11μm a thechnoleg uwch |
|
Ffurfweddiad y Siambr |
Siambrau etch ICP + modiwl trosglwyddo |
Siambrau etch ICP + modiwl trosglwyddo; dylunio siambr aml-ar gyfer masgynhyrchu |
|
Galluoedd Proses Allweddol |
Ysgythriad silicon, ysgythriad deuelectrig, etch giât, cilfach W, SADP |
Ysgythriad giât, AA, STI, spacer etch, cilfach W |
|
Etch Unffurfiaeth |
Rheolaeth unffurfiaeth uwch (yn cwrdd â safonau manylder nodau uwch) |
Llai na neu'n hafal i 5% o fewn-wafer; Llai na neu'n hafal i 5% o wafferi i-waffer |
|
Rheoli Gronynnau |
Rheoli gronynnau llym ar gyfer cynnyrch cynnyrch uchel |
Rheolaeth gronynnau ardderchog ar gyfer cynhyrchu màs sefydlog |
|
Cydymffurfiad Diwydiannol |
Yn addas ar gyfer cynhyrchu cyfaint IC 12-modfedd; yn cydymffurfio â safonau masgynhyrchu lled-ddargludyddion |
Dyluniad optimeiddio annibynnol; yn ffitio gofod gwych 8-modfedd a gofynion cost ar gyfer uwchraddio capasiti |
FAQ
C: Pa feintiau wafferi y mae'r ddwy system yn eu cefnogi?
A: Mae'r system 12 modfedd yn cefnogi wafferi IC 12 modfedd (300mm), ac mae'r system 8 modfedd yn cefnogi wafferi IC 8-modfedd.
C: Pa brosesau craidd y maent yn eu cwmpasu?
A: Mae'r system 12 modfedd yn cwmpasu ysgythriad silicon, ysgythriad deuelectrig, SADP, cilfach W, ac ati; mae'r system 8-modfedd yn canolbwyntio ar etch giât ac yn cefnogi STI, spacer etch, ac ati.
C: Pa nodau technoleg y maen nhw'n gydnaws â nhw?
A: Mae'r system 12 modfedd yn addasu i nodau technoleg uwch; mae'r system 8-modfedd yn gydnaws â nodau uwch 0.11μm ac uwch.
C: A yw'r ddwy system yn addas ar gyfer cynhyrchu màs?
A: Ydw. Mae'r system 12 modfedd yn ffitio llinellau cynhyrchu ar raddfa fawr, tra bod y system 8 modfedd yn arbed gofod ac yn gost-effeithiol ar gyfer masgynhyrchu.
C: Beth yw unffurfiaeth etch y system 8-modfedd?
A: Mae ganddo Lai na neu'n hafal i 5% o fewn-unffurfiaeth wafferi a Llai na neu'n hafal i 5% wafferi -i-unffurfiaeth wafferi.
Tagiau poblogaidd: system ysgythru silicon, gweithgynhyrchwyr system ysgythru silicon Tsieina, cyflenwyr

