Trosolwg o'r cynnyrch
Mae MHS 100, a ddatblygwyd gan Leuven Instruments, yn system ysgythru masgiau caled metel pwrpasol ar gyfer diwydiant IC 12 modfedd. Mae'n cynnwys siambrau etch ICP a modiwl trosglwyddo, sy'n canolbwyntio ar agoriad mwgwd caled metel TiN mewn prosesau rhyng-gysylltu copr pen ôl (amledd ailadrodd uchel). Gall weithio'n annibynnol ar gyfer ysgythru masgiau caled o wahanol nodau technoleg a hefyd fod yn fodiwl dewisol ar gyfer MSE 100 i wireddu ysgythru integredig o fasg caled metel i haen swyddogaethol dyfais
Manteision
Addasrwydd Cynhyrchu Màs
Wedi'i gynllunio ar gyfer masgynhyrchu wafferi IC 12-modfedd, gyda sefydlogrwydd wedi'i ddilysu i ddiwallu anghenion ysgythru mwgwd caled ailadroddus.
Cydnawsedd Proses Eang
Yn cefnogi ysgythru mwgwd caled TiN a phroses SADP ar gyfer nodau 55nm a thechnoleg uwch.
Ehangu Integreiddio Da
Cyfuniad hyblyg gyda LMEC-300™ ar gyfer ysgythru integredig "haen caled-swyddogaethol", gan wella effeithlonrwydd
Cais
Prosesau ôl-diwedd IC 12-modfedd
Cymhwysiad craidd mewn agoriad mwgwd caled metel TiN o'r cefn-diwedd rhyng-gysylltiadau copr .
Gweithgynhyrchu nod technoleg uwch
Yn addas ar gyfer cynhyrchu IC o 55nm a nodau technoleg mwy datblygedig.
Gwneuthuriad dyfais cof sy'n dod i'r amlwg
Yn darparu datrysiadau ysgythru integredig wrth eu cyfuno â LMEC-300™.
Paramedrau
|
Categori |
Manylion |
|
Cydweddoldeb Wafer |
Wedi'i neilltuo ar gyfer wafferi IC 12 modfedd (300mm), sy'n cyfateb i ofynion maint llinell gynhyrchu màs |
|
Ffurfweddiad y Siambr |
Yn meddu ar siambrau etch plasma wedi'u cyplysu'n anwythol (ICP) + modiwl trosglwyddo, gan sicrhau proses sefydlog a throsglwyddo wafferi |
|
Deunyddiau a Phrosesau Targed |
Canolbwyntiwch ar ysgythru mwgwd caled metel TiN; gydnaws â phrosesau SADP |
|
Nodau Technoleg Cydnaws |
Yn cefnogi nodau 55nm a thechnoleg uwch, gan ddiwallu anghenion manwl gywirdeb gweithgynhyrchu IC diwedd uchel |
|
Gallu Integreiddio |
Modiwl dewisol ar gyfer LMEC-300™, gan alluogi ysgythru integredig "haen swyddogaethol mwgwd caled" |
|
Cydymffurfiad Diwydiannol |
Yn mabwysiadu masgynhyrchu lled-ddargludyddion-cysyniadau safonol a chysyniadau dylunio, sy'n addas ar gyfer cynhyrchu cyfaint IC 12 modfedd |
FAQ
C: Pa faint wafer y mae'n ei gefnogi?
A: Wedi'i neilltuo ar gyfer wafferi IC 12 modfedd (300mm).
C: Beth yw ei gymhwysiad craidd?
A: Mae mwgwd caled metel TiN yn agor mewn copr ôl-gefn 12 modfedd IC yn rhyng-gysylltu.
C: Pa nodau technoleg y mae'n gydnaws â nhw?
A: 55nm a nodau technoleg mwy datblygedig.
C: A all integreiddio â systemau eraill?
A: Ydy, mae'n fodiwl dewisol ar gyfer LMEC-300™ ar gyfer ysgythru integredig.
C: A yw'n cefnogi prosesau SADP?
A: Ydy, yn gydnaws â phrosesau patrwm dwbl hunan-aliniedig (SADP).
Tagiau poblogaidd: system ysgythru mwgwd caled, Tsieina mwgwd caled system ysgythru gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr
