Trosolwg o'r cynnyrch
Mae'r glanhawr wafferi sengl hwn wedi'i adeiladu'n benodol ar gyfer gwaith wafferi lled-ddargludyddion-yn cwmpasu popeth o fformatau 8 modfedd i 12 modfedd, dim eithriadau. Mae gan bob model reolaethau proses manwl gywir (meddyliwch am wres, crynodiad, cyfradd llif) a chyfathrebu SECS/GEM, felly mae ei integreiddio i fabs smart yn awel. Yn well eto, mae'n gwbl ffurfweddadwy i gyd-fynd â beth bynnag sydd ei angen ar eich cais.
Dyma sut mae'r gyfres yn chwalu:
SWC 100 :
Wedi'i gynllunio gyda wafferi 12-modfedd mewn golwg. Mae ganddo 8 siambr ac mae'n gweithio gyda 4 FOUP, gan drin yr holl brosesau gwlyb safonol y byddai eu hangen arnoch chi o ddydd i ddydd.
SWC 200:
Opsiwn arall â ffocws 12-modfedd, ond gyda hwb-12 siambrau yn lle 8, ynghyd â chydnawsedd 4 FOUP. Y prosesau craidd? Yn union yr un fath â'r SC3100, felly dim cromlin ddysgu newydd.
SEC Plus:
Yr un hyblyg o'r criw. Mae'n gweithio gyda wafferi 8-modfedd a 12 modfedd fel ei gilydd, a gallwch chi addasu'r cyfrif siambr o 2 i 8. Perffaith ar gyfer gosodiadau dyfeisiau pŵer a phroses sy'n seiliedig ar silicon.
Manteision
◆ Fformat & Ffurfweddu Hyblygrwydd
SWC100 / SWC 200: Cefnogaeth sefydlog 12-modfedd (8/12 siambrau) ar gyfer cynhyrchu safonol cyfaint uchel.
SEC Plus: 8–12-cydnawsedd modfedd + siambrau y gellir eu haddasu, yn addasu i lifoedd gwaith fformat cymysg/dyfeisiau pŵer.
◆ Rheoli Proses Union
Pob model: Gwres / crynodiad / rheoli llif / pwysau, ynghyd â chemegau dewisol (DHF, SC1, ac ati) a ffroenellau 3ea ar gyfer prosesu unffurf.
SEC Plus: Gwahaniad asid / sylfaen / gwacáu organig ychwanegol + adennill cemegol, gan wella diogelwch a chost effeithlonrwydd.
◆ Cydnawsedd Eang
SWC100 / SWC 200: cefnogaeth cludwr 4FOUP ar gyfer integreiddio fab 12-modfedd.
SEC Plus: 2–4 Casét Agored/SMIF/FOUP cydnawsedd, gosod etifeddiaeth a llinellau cynhyrchu modern.
Ceisiadau
SWC100 / SWC 200 (Waferi 12-modfedd)
Prosesau craidd: glanhau RCA, glanhau GATE, ysgythru / stripio ocsid, tynnu ffotoresistiaid.
Defnyddiau penodol: Tynnu halogiad gronynnau/metel/organig, glanhau cyn/ar ôl-, glanhau rhyng-gysylltu Al/Cu (ar gyfer sglodion rhesymeg/cof).
SEC Plus (Waferi 8-12-modfedd)
Dyfeisiau targed: Dyfeisiau pŵer silicon carbid/silicon, -dyfeisiau proses sy'n seiliedig ar silicon.
Prosesau penodol: Teneuo/glanhau ochr y cefn, glanhau wafferi tenau, ysgythru H3PO4 tymheredd uchel, yn ogystal â chael gwared ar halogiad safonol a glanhau rhyng-gysylltiadau.
Paramedrau
|
Manyleb |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plws |
|
Maint Wafer |
12 modfedd |
12 modfedd |
8-12 modfedd |
|
Siambrau |
8 siambr |
12 siambr |
2-8 siambrau (addasadwy) |
|
Cydnawsedd Cludydd |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Casét Agored/SMIF/FOUP |
|
Cemegau â Chymorth |
DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, N2 |
DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, N2 |
Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Nodweddion Rheoli Proses |
Gwres/crynodiad/llif/rheoli pwysau |
Gwres/crynodiad/llif/rheoli pwysau |
Gwres/crynodiad/llif/rheoli pwysau |
|
Cymorth Cyflenwi Cemegol |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Rheoli gwacáu |
N/A |
N/A |
Ecsôsts ar wahân (asid / sylfaen / organig) |
|
Nodweddion Ychwanegol |
N/A |
N/A |
Adennill cemegolion; amddiffyniad gorboethi bath; gollyngiad |
|
Protocol Cyfathrebu |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Pa feintiau wafferi mae'r modelau hyn yn eu cefnogi?
Mae SWC100 / SWC 200 yn cefnogi wafferi 12-modfedd yn unig; mae'r SEC Plus yn hyblyg ar gyfer wafferi 8-12 modfedd.
Beth yw'r gwahaniaeth rhwng SWC100 a SWC 200?
Maent yn rhannu'r un galluoedd proses 12-modfedd-mae gan SC3100 8 siambr, tra bod SWC 200 yn ehangu i 12 siambr ar gyfer trwybwn uwch.
Pa fodel sy'n addas ar gyfer prosesu dyfeisiau pŵer?
Mae'r SEC Plus wedi'i optimeiddio ar gyfer dyfeisiau pŵer carbid silicon/silicon (yn cefnogi teneuo ochr y cefn, ysgythru H3PO4 tymheredd uchel).
A all y systemau hyn gysylltu â MES ein mab?
Ydy-mae pob model yn cefnogi protocol cyfathrebu SECS/GEM yn llawn ar gyfer integreiddio ffatrïoedd.
A yw'r SE Series yn cefnogi nodweddion arbed costau cemegol?
Ydy, mae'n cynnwys ymarferoldeb adennill cemegau (ailgylchu cemegau proses) a draeniad gwastraff dosbarthedig.
Gyda pha gludwyr y mae'r systemau hyn yn gweithio?
SWC100 / SWC 200 defnyddio 4FOUP; mae'r SEC Plus yn cefnogi 2-4 Casét Agored/SMIF/FOUP (yn addasu i linellau etifeddiaeth/modern).
Tagiau poblogaidd: glanhawr waffer sengl, Tsieina wafferi sengl glanach gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr
