Trosolwg o'r cynnyrch

Adeiladwyd y Swp-Glanhawr Wafferi-gan gynnwys y Modelau 12-modfedd a'r Modelau 8-modfedd CC- er trachywiredd mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion a phrosesu wafferi silicon, gan arbenigo mewn ysgythru a glanhau gwlyb. Beth sy'n ei osod ar wahân? Hyblygrwydd fformat sy'n gweithio ar gyfer wafferi 12-modfedd ac 8{{-modfedd, ynghyd ag opsiynau trin y gellir eu ffurfweddu (heb gasét neu fath o gasét) i gyd-fynd bron ag unrhyw gynhyrchiad - o ffabrigau 300mm cyfaint uchel i lawr i linellau 200mm etifeddol.
O dan y cwfl, mae'n llawn nodweddion sy'n bwysig ar gyfer canlyniadau cyson: rheolaeth gemegol uwch (gyda chefnogaeth CCSS / LCSS), rheolaeth prosesau awtomataidd ar gyfer dosio, tymheredd, a chyfradd llif, a-cyfathrebu safonol SECS/GEM y diwydiant. Ond ni wnaethom stopio ar berfformiad roedd diogelwch ac effeithlonrwydd yn brif flaenoriaethau hefyd. Byddwch yn cael eich ymgorffori-mewn canfod gollyngiadau ac amddiffyniad gorboethi er tawelwch meddwl, ynghyd â galluoedd adennill cemegol a dosbarthu gwastraff i gadw gweithrediadau i redeg yn esmwyth. P'un a ydych chi'n ysgythru, yn glanhau neu'n rinsio, mae'r system hon yn darparu canlyniadau ailadroddadwy y gallwch chi ddibynnu arnyn nhw-heb y gwaith dyfalu.

Manteision

Hyblygrwydd Fformat a Thrin

Model 12 modfedd:Casét-llai o ddyluniad (yn lleihau risgiau halogi ar gyfer wafferi 300mm purdeb uchel).
Model 8 modfedd:Trin math heb gasét/casét-deuol + cydnawsedd SMIF POD/FOUP (yn addasu i lifoedd gwaith 200mm etifeddol/modern).

Rheoli Proses Manwl

Nodweddion safonol:Dosio awto, gwaedu a bwydo, a-rheoleiddio tymheredd, crynodiad, cyfradd llif a phwysau (yn sicrhau unffurfiaeth swp i-swp).
Sychu uwch:Sychu Marangoni/LPD (yn atal mannau dŵr/gweddillion ar arwynebau wafferi sensitif).

Cost ac Effeithlonrwydd Gweithredol

BC3100 - adennill cemegol yn unig (yn lleihau'r defnydd o gemegau a gwastraff).

Swp gorboethi amddiffyniad + synwyryddion gollyngiadau (yn lleihau amser segur a cholli deunydd).

Integreiddio a Chydymffurfiaeth Ffatri

Cefnogaeth protocol SECS / GEM llawn (yn galluogi cysylltedd MES ar gyfer llifoedd gwaith smart fab).

Model 8 modfedd:Draenio ar wahân (yn symleiddio dosbarthiad gwastraff peryglus a chydymffurfiaeth reoleiddiol).

Ceisiadau

Prosesau Gweithgynhyrchu IC

- Glanhau RCA

- PR stribed gwlyb

- Haen dielectrig etch gwlyb

- Haen fetel etch gwlyb

Prosesu Wafer Silicon

- Ysgythriad alcali

- Postio -glanhau sglein

- Cyn-lanhau

- Rinsiad terfynol

Model-Achosion Defnydd Penodol

Model - 12-modfedd: Wedi'i wneud ar gyfer cynhyrchiant 300mm cyfaint uchel. Meddyliwch am resymeg fawr a fabs sglodion cof yn rhedeg ar gyflymder llawn.

Model - 8-modfedd: Delfrydol ar gyfer llinellau wafferi 200mm. Gwych ar gyfer lled-ddargludyddion modurol a hen ficroelectroneg-y rhai sy'n pweru systemau hanfodol.

Paramedrau

Paramedr	Modl 12-modfedd	Model CC 8-modfedd
Maint Wafer	12 modfedd (300mm)	8 modfedd (200mm)
Math Offeryn	Caset-yn llai	Math heb gasét neu gasét
Cynhwysedd Wafferi / Cae	N/A	50 wafferi (25 wafferi/casét x2)/ llain 10mm
Cludwyr â Chymorth	N/A	SMIF POD/FOUP
Cymorth Cyflenwi Cemegol	CCSS, LCSS	CCSS, LCSS
Technoleg Sychu	Marangoni sych neu LPD	Marangoni sych, LPD sych
Rheoli Cemegol	Dosio awtomatig, gwaedu&bwyd; gwresogi/crynodiad/llif/rheoli pwysau	Dosio awtomatig, gwaedu&bwyd; gwresogi/crynodiad/llif/rheoli pwysau
Nodweddion Diogelwch	Amddiffyn gorgynhesu Caerfaddon; synwyryddion gollwng (lefel-uned)	Amddiffyn gorgynhesu Caerfaddon; canfod gollyngiadau; gwahanu draeniad
Adennill Cemegol	Cefnogir	Heb ei nodi
Protocol Cyfathrebu	Cefnogaeth lawn SECS / GEM	Cefnogaeth lawn SECS / GEM
Trosglwyddiad Casét	Heb ei nodi	Cefnogir

FAQ

C: Pa feintiau wafferi y mae Cyfres BC yn eu cefnogi?

A: Mae'r BC3100 yn trin wafferi 12 modfedd (300mm); mae'r model CC 8-modfedd yn cefnogi wafferi 8 modfedd (200mm).

C: A all Cyfres BC weithio gyda chasetiau?

A: Mae'r BC3100 yn defnyddio casét-llai o ddyluniad; mae'r model 8-modfedd yn cefnogi trin heb gasét a math o gasét.

C: Pa brosesau allweddol y mae'n eu perfformio?

A: Mae'n delio â glanhau RCA, stribed cysylltiadau cyhoeddus, ysgythru deuelectrig/metel, a phost- glanhau sglein ar gyfer lled-ddargludyddion/wafferi.

C: A yw'n cefnogi integreiddio ffatri?

A: Ydy-mae'r ddau fodel yn cefnogi'n llawn y protocol cyfathrebu SECS/GEM ar gyfer cysylltedd MES.

C: Pa nodweddion diogelwch sydd ganddo?

A: Mae nodweddion safonol yn cynnwys amddiffyniad gorgynhesu bath a chanfod gollyngiadau; mae'r model 8 modfedd yn ychwanegu draeniad gwastraff ar wahân.

Tagiau poblogaidd: swp glanach wafferi, Tsieina swp wafferi glanach gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr