Trosolwg o'r cynnyrch

The Vertical Wafer Dryer -mae hwn wedi'i adeiladu gyda manwl gywirdeb mewn golwg, wedi'i deilwra'n benodol ar gyfer gofynion llym y diwydiannau hynny.
Beth sy'n ei wneud yn ymarferol? I ddechrau, mae dwy siambr annibynnol-fel y gallwch redeg prosesau gwahanol ar yr un pryd heb groeshalogi, sy'n arbed amser enfawr ar linellau cynhyrchu prysur. Yna mae'r system reoli uwch; nid dim ond "rheoli" pethau mae'n ei wneud, ond mae'n tiwnio pob paramedr i gadw cysondeb craig-gadarn. A'r rhan orau yw cyfuno glanhau a sychu mewn un uned-dim angen symud wafferi rhwng peiriannau, cwtogi ar drin a'r risg o ddifrod.

Ar ddiwedd y dydd, yr hyn sy'n bwysig i weithgynhyrchwyr yw dibynadwyedd a phurdeb-ac mae'r peiriant sychu hwn yn darparu'r ddau. Dyma'r math o offer sydd nid yn unig yn bodloni safonau'r diwydiant, ond sy'n cyd-fynd yn esmwyth â sut mae timau cynhyrchu go iawn yn gweithio.

Ceisiadau

TheVertical Wafer Dryer wedi'i gynllunio i drin y gwaith sychu ar ôl glanhau asid SPM a glanhau organig-dau gam lle mae rheoli gweddillion yn hollbwysig. Y tu hwnt i hynny, mae hefyd yn cefnogi anghenion sychu post ar gyfer datblygu ffotolithograffeg, tynnu ffotoresistiaid, ysgythru ITO/BOE, a gorchuddio troelli. Y fantais fwyaf yma yw ei gysondeb: mae'n sicrhau nad oes unrhyw halogion gweddilliol na materion gronynnau, gan gadw ansawdd y broses yn sefydlog ar ôl swp.

Mae'r Sychwr Wafferi Fertigol hwn hefyd yn disgleirio mewn senarios cymhwysiad polion uchel. Ar gyfer{2}}pecynnu ar lefel wafferi ar gyfer microsynwyryddion a sglodion, mae'n cadw'r gyfradd darnio o dan 1/10000-ffigur sy'n trosi'n uniongyrchol i arbedion cost i weithgynhyrchwyr. Yn ogystal, mae'n addas iawn ar gyfer prosesu wafferi arbennig sy'n sensitif i dymheredd, fel gallium arsenide a saffir. Mae'r deunyddiau hyn yn dyner, ond mae'r sychwr yn bodloni eu gofynion difrod hynod o lân ac isel, felly nid oes angen poeni am ddiffygion sy'n gysylltiedig â'r broses.

Manteision

Selio nitrogen Mayrinth, y ceudod a'r ynysu ceudod, dim effaith selio cyswllt, er mwyn sicrhau gofynion amgylchedd y broses.

Canfod sioc ar-lein

Swyddogaeth dileu electrostatig, bydd y cynnyrch yn cynhyrchu trydan statig ar gyflymder uchel, y defnydd o ddyfais tynnu electrostatig foltedd uchel i wneud cyflwr niwtraliad wyneb y cynnyrch

Hunan{0}}swyddogaeth ailosod mecanyddol, ataliwch y blwch sglodion wrth gefn rhag wynebu i fyny

Paramedrau

Categori	Eitem	Manylion Manyleb
Gwybodaeth Sylfaenol	Enw Cynnyrch	Sychwr siambr ddwbl fertigol
	Rhif Model	Semicaidd-QX-61-2M-A
	Maint (Cyfeirnod)	L×D×H=Lled arwyneb 490mm × Dyfnder 937mm × Uchder 1880mm
	Pwysau (tua)	260kg
Ceudod Prosesu a Chasét	Ceudod Proses	Ceudod dwbl (uwch ac isaf), y gellir ei reoli'n annibynnol; yn gallu gosod rotor cludwr 6" wedi'i addasu
	Math o Gasét a Ddefnyddir	KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm)
	Manylebau Rhannau Glanhau a Sychu	Yn meddu ar rotorau personol 2pcs 4"; casét a gyflenwir gan y cwsmer, mae rhannau rotor yn samplau dylunio terfynol
Paramedrau Gweithredol	Gosod Amser Proses	1s - 900s; cywirdeb cynnal a chadw Llai na neu'n hafal i ±5%
	Cyflymder Gweithio	100-2500rpm/munud (addasadwy fesul nodweddion a phroses cynnyrch); gwall cyflymder < ±2%
	Ystod Tymheredd Sychu Siambr	Isafswm: Mwy na neu'n hafal i 45 gradd ; Uchafswm: Llai na neu'n hafal i 85 gradd
	Gofyniad Glanweithdra Sych	Gronynnau Mwy na neu'n hafal i 0.3μm < 30 grawn/waffer
	Offer UPTIME	Mwy na neu'n hafal i 95%; trafferth misol ar gyfartaledd-amser gweithio rhydd Yn fwy na neu'n hafal i 648H
	Cyfradd Darnio Gweithrediad	Llai na neu'n hafal i 1/10000
Gofynion y Cyfryngau	Dwfr Deionized	Amrediad pwysau: 0.2 ~ 0.4Mpa; llif uchaf: 0.7m³/h
Gofynion y Cyfryngau	Nitrogen	Amrediad pwysau: 0.5 ~ 0.6Mpa; defnydd uchaf: 18-20m³/h; a ddefnyddir ar gyfer gwresogi a selio
Swyddogaethau ac Amddiffyn	Glanhau Chwistrellu	Wedi'i gyfarparu â dyfais glanhau chwistrell a-proses hunan-lanhau ceudod
	Selio Yn ystod Gweithrediad	Drws siambr a siafft modur wedi'i selio â nitrogen
	Canfod Gollyngiadau	Wedi'i adeiladu-yn synhwyrydd gollyngiadau; yn sbarduno larwm gollwng er mwyn osgoi gollyngiadau
	Diogelu Proses	Ar ôl i broses gael ei chwblhau, ni ellir gweithredu rhyngwyneb os na chaiff y drws ei agor i dynnu cynhyrchion allan, gan osgoi gweithrediad eilaidd
System Reoli	Rheolaeth Graidd	rheolaeth rhaglenadwy PLC; yn arbed 10 adran proses (10 cam fesul adran); gall defnyddwyr osod pob is-swyddogaeth ymlaen/i ffwrdd yn ôl yr angen
	Rheoli Caniatâd	2 fath o reolaeth caniatâd gweithredu, pob un wedi'i ffurfweddu â chyfrinair caniatâd
	Swyddogaeth Arddangos	Mae sgrin yn dangos gwybodaeth am bob proses
	Modd Rheoli a Rhyngwyneb	Gellir rheoli pob siambr yn annibynnol; rhyngwyneb gweithredu: sgrin gyffwrdd LCD

FAQ

Ar gyfer pa ddiwydiannau y gwneir y Sychwr Wafferi Fertigol hwn?

Mae wedi'i deilwra'n bennaf i'r sectorau lled-ddargludyddion a microelectroneg-meddyliwch am senarios lle nad yw-sychu wafferi purdeb uchel yn{-trafodadwy. Mae pob rhan o'i ddyluniad yn gogwyddo i anghenion unigryw'r diwydiannau hyn.

Pa brosesau craidd y gall eu trin?

Mae'n cwmpasu ystod eang o gamau prosesu wafferi allweddol. Yn benodol, mae'n gofalu am waith sychu ôl--ar ôl glanhau asid SPM, glanhau toddyddion organig, datblygu ffotolithograffeg, tynnu ffotoresist, ysgythru ITO/BOE, a gorchuddio sbin-holl bwyntiau hollbwysig lle mae sychu'n drylwyr yn bwysig.

Beth yw budd ei-gynllun ceudod dwbl?

Mae'r ceudodau uchaf ac isaf yn gweithio'n annibynnol-gallwch reoli pob un ar wahân. Mae hynny'n golygu y gallwch chi brosesu wafferi yn y ddau ar yr un pryd, sydd wir yn cynyddu effeithlonrwydd cynhyrchu. Hefyd, os oes angen paramedrau gwahanol ar wahanol brosesau, gall pob ceudod drin ei osodiadau ei hun yn berffaith.

Beth yw'r safon glendid ar ôl sychu?

Mae'n eithaf llym, ac am reswm da. Ar ôl sychu, mae gan bob wafer lai na 30 o ronynnau sy'n 0.3μm neu fwy. Mae hynny'n union yn unol â-galwadau purdeb uchel gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion.

A yw'n hawdd gweithredu?

Yn hollol. Mae'n dod gyda sgrin gyffwrdd LCD a rheolaeth raglenadwy PLC-super reddfol. Gallwch storio hyd at 10 adran broses, a gall pob adran gael 10 cam. Mae yna hefyd-reoli cyfrinair caniatâd deuol ar gyfer diogelwch. Mae hyd yn oed gweithredwyr newydd yn codi'r pethau sylfaenol yn gyflym.

Pa mor ddibynadwy yw'r offer?

Mae ei sefydlogrwydd gweithredol yn bwynt gwerthu mawr. Mae UPTIME yr offer yn taro o leiaf 95%, ac mae'n rhedeg heb broblemau am gyfartaledd o 648 awr neu fwy bob mis. Yn well eto, nid yw'r gyfradd darnio wafferi yn fwy na 1/10000 yn ystod y llawdriniaeth-felly ni fyddwch yn colli llawer i ddiffygion offer.

Pa gyfrwng sydd ei angen i redeg?

Dim ond dau fath: dŵr deionized a nitrogen. Mae angen gwasgedd rhwng 0.2-0.4Mpa ar y dŵr wedi'i ddadïoneiddio, gyda llif uchaf o 0.7m³/h. Mae angen pwysedd 0.5-0.6Mpa ar nitrogen, ac mae'n defnyddio 18-20m³/h ar y mwyaf. Fe'u defnyddir ar gyfer glanhau, gwresogi a selio yn y drefn honno - mae pob un yn chwarae rhan allweddol wrth wneud y gwaith yn iawn.

Tagiau poblogaidd: sychwr wafferi fertigol, Tsieina fertigol wafferi sychwr gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr