Trosolwg o'r cynnyrch
Mae offer MOCVD cyfres Nice{0}Tech MC150/MC200/MC300 yn mabwysiadu'rcau-model pigiad nwy pen cawod fertigol, gyda manteision unffurfiaeth epitaxial cynhenid trwy ffroenellau nwy ffynhonnell cyfnodol dwysedd uchel a phellter chwistrellu bach y gellir ei reoli. Mae'r tri model wedi'u cynllunio gyda meintiau siambr adwaith gwahaniaethol ar gyfer gallu cynhyrchu graddiant, gan gefnogi cyfluniad swbstrad hyblyg a dyluniad wedi'i addasu. Mae'r peiriant cyfan wedi pasio ardystiad SEMI-S2 a SEMI-S6, gyda chylchedau nwy ffynhonnell MO hyd at 10 llwybr a chylchedau nwy Hyd hyd at 6 llwybr, sy'n addas ar gyfer twf lled-ddargludyddion 2il i 4edd genhedlaeth a dau-ddeunyddiau dimensiwn, sy'n cwmpasu ymchwil a datblygu, senarios prawf peilot a masgynhyrchu.
Manteision
1. Perfformiad Epitaxial Superior: Haen epitaxial Ga₂O₃ ar-drwch wafer std 0.19%, InP/GaAs-deunyddiau seiliedig gyda chrynodiad cefndir isel ac unffurfiaeth tonfedd PL uchel; ansawdd grisial rhagorol gyda thwf llif cam- yr arwyneb epitaxial.
2. Addasrwydd Deunydd Eang: Cwmpas llawn lled-ddargludyddion 2il i 4edd genhedlaeth a deunyddiau dau ddimensiwn, un ddyfais yn diwallu anghenion twf lluosog.
3. Hyblyg & Customizable: Ffurfweddiad swbstrad graddiant, cylchedau nwy/baddonau thermostatig y gellir eu huwchraddio, swyddogaethau monitro yn-situ dewisol, cefnogi addasu personol.
4. Diogelwch Uchel a Gweithrediad Hawdd: SEMI{0}}S2/SEMI-ardystiwyd S6; dyluniad dyneiddiol ar gyfer gweithredu a chynnal a chadw syml, gosodiad rhesymol yr ardal gynnal a chadw.
5. System Broses Sefydlog: Cylched nwy unigryw a chyfluniad baddon thermostatig ar gyfer gwahanol ddeunyddiau, rheolaeth fanwl iawn MFC / PC, gan sicrhau proses dwf sefydlog a chywir.
Ceisiadau
Twf Deunydd Lled-ddargludyddion: Yn gallu tyfu lled-ddargludyddion 2il genhedlaeth (AlGaInAs, AlGaInP, InGaAsP), 3edd genhedlaeth (GaN, InGaN, AlN), lled-ddargludyddion 4ydd cenhedlaeth (Ga₂O₃) a dau-ddeunyddiau dimensiwn (graphene, MoS₂, WSe₂).
Meysydd Terfynell: Wedi'i gymhwyso i baratoi deunyddiau ffilm tenau ar gyfer dyfeisiau pŵer, celloedd solar, VCSEL, goleuo, arddangos a chyfathrebu optegol, ac a ddefnyddir mewn cerbydau ynni newydd, gorsafoedd sylfaen 5G, cynhyrchu pŵer ffotofoltäig / gwynt, cyfathrebu radar a lloeren, ac ati.
Paru Senario: MC150 ar gyfer ymchwil a datblygu labordy, MC200 ar gyfer cynhyrchu swp canolig, MC300 ar gyfer masgynhyrchu diwydiannol ar raddfa fawr.
Paramedrau
|
Mynegai |
MC150 |
MC200 |
MC300 |
|
Maint Ardal Cynnal a Chadw (mm) |
6200*2900 |
7680*3900 |
7680*3900 |
|
Ffurfweddiad Maint Swbstrad |
6x2", 1x4", 1x6" |
12x2", 3x4", 1x6", 1x8" |
19x2", 5x4", 3x6", 1x8", 1x12" |
|
Tystysgrif Diogelwch Craidd |
SEMI-S2, SEMI-S6 |
||
|
Cylchedau Nwy Ffynhonnell Max MO |
10 llwybr |
||
|
Cylchedau Nwy Max Hyd |
6 llwybr |
||
|
Baddonau Thermostatig Uchaf |
/ |
6 mawr neu 8 bach |
6 mawr neu 8 bach |
|
Swyddogaeth Monitro Safonol |
Adlewyrchedd/tymheredd yn-monitro'r sefyllfa (R/T) |
||
|
Swyddogaethau Craidd Dewisol |
Swyddogaeth nenfwd, Bwlch Proses y gellir ei addasu (5~25mm), warpage mewn-monitro sefyllfa (C), crynodiad ffynhonnell MO ar-monitro llinell |
||
|
Perfformiad Proses Nodweddiadol (Ga₂O₃) |
Ar-trwch afrlladen std 0.19%; 500nm o drwch -Ga₂O₃ arwyneb RMS 0.254nm |
||
|
Perfformiad Proses Nodweddiadol (yn seiliedig ar InP/GaAs-) |
Dosbarthiad tonfedd PL std mor isel â 0.014%; crynodiad cefndir isel, symudedd uchel |
||
|
Senario Perthnasol |
Ymchwil a datblygu labordy, prawf peilot swp bach |
Canolig-swp-gynhyrchu, prawf peilot diwydiannol |
Cynhyrchu màs diwydiannol ar raddfa fawr |
|
Rheoli Cylchdaith Nwy |
MFC/PC manwl uchel ar gyfer pob cylched nwy |
||
FAQ
C: Pa ddeunyddiau y gall yr offer eu tyfu?
A: lled-ddargludyddion 2il/3ydd/4ydd-gen (AlGaInAs, GaN, Ga₂O₃, ac ati) a deunyddiau 2D (graphene, MoS₂, WSe₂).
C: Pa ardystiadau diogelwch sydd ganddo?
A: SEMI{0}}S2, SEMI-S6 ardystiedig.
C: A ellir uwchraddio'r system nwy / tymheredd?
A: Ydw. Max 10 MO nwy llwybrau, 6 Hyd nwy llwybrau; Gall MC200/300 ddal hyd at 6 baddon thermostatig mawr/8 bach.
C: Pa swyddogaethau monitro sydd ar gael?
A: Safonol: R/T yn-monitro ar y safle; Dewisol: monitro warpage, Bwlch Proses addasadwy, monitro crynodiad MO ar-lein.
C: Uchafbwyntiau perfformiad proses allweddol?
A: Ga₂O₃: ar-std trwch wafferi 0.19%, RMS arwyneb 0.254nm (500nm); InP/GaAs: PL std 0.014%, crynodiad cefndir isel.
C: A yw dyluniad wedi'i addasu yn cael ei gefnogi?
A: Oes, mae swbstrad wedi'i addasu, modiwlau nwy / tymheredd a swyddogaethau monitro ar gael.
Tagiau poblogaidd: system mocvd safonol, gweithgynhyrchwyr system mocvd safonol Tsieina, cyflenwyr
