Trosolwg o'r cynnyrch
Mae ffwrneisi thermol tiwb fertigol a llorweddol ein cwmni ill dau yn canolbwyntio ar reolaeth tymheredd manwl uchel- maent yn trin yr holl driniaethau gwres lled-ddargludyddion allweddol, fel ocsidiad, trylediad, ac anelio-boed hynny ar gyfer masgynhyrchu neu ymchwil a datblygu labordy. Mae'r gwahaniaethau gwirioneddol rhyngddynt yn dibynnu ar strwythur a sut maent yn cyd-fynd â defnyddiau penodol:
Ffwrnais thermol tiwb fertigol
Mae Ffwrnais Tiwb Fertigol yn arbed lle, yn ffitio Lai na neu'n hafal i wafferi 8-modfedd (opsiwn diwydiannol 12-modfedd ar gael). Manylebau allweddol: parth tymheredd cyson mwyaf 850mm, cywirdeb rheoli ±0.5 gradd.
Model diwydiannol: Yn rhoi hwb i gynhyrchiad màs IC/IGBT trwy brosesu swp di-stop. Model ymchwil: Yn darparu ar gyfer SiC/cyfrwng sglodion cwantwm-anghenion tymheredd isel ar gyfer-gwirio swp bach.
Ffwrnais thermol tiwb llorweddol
Dyluniad Ffwrnais Tiwb Llorweddol, cyfluniad tiwb hyblyg 1-4; Parth tymheredd cyson y gellir ei addasu 300-1000mm, ystod 400 gradd -1200 gradd.
Model diwydiannol: Integreiddio prosesau aml--ar gyfer dopio wafferi/ffurfio strwythurol. Model ymchwil: Yn cyfuno addysgu a datblygu, yn ddelfrydol ar gyfer arbrofion bach mewn prifysgolion.
Mae'r ddau yn defnyddio siambrau glân a rheolaeth tymheredd sefydlog, gan gwmpasu anghenion thermol lled-ddargludyddion o ymchwil a datblygu i gynhyrchu màs.
Ceisiadau
- Ar gyfer prifysgolion/sefydliadau ymchwil: Yn cefnogi-Ymchwil a Datblygu swp bach o SiC, sglodion cwantwm, ac ati, gan helpu i ddilysu prosesau deunydd newydd a phrofi perfformiad.
- Micro-prosesu nano: Yn trin trylediad, ocsidiad, anelio, mae LPCVD-yn llwyfan hyblyg ar gyfer ymchwil dyfeisiau optoelectroneg/ffotonig.
- Ymchwil a Datblygu dyfeisiau optegol: Yn ffitio canllaw tonnau optegol integredig/cyflymder uchel-datblygiad dyfais ffotonig; yn cyfateb i anghenion trin gwres LiNbO₃ wrth gyfnewid proton.
- Addysgu yn y brifysgol: Yn cynorthwyo addysgu arbrofol/datblygu prosesau, gan helpu i feistroli offer thermol lled-ddargludyddion a chysylltu theori â pheirianneg.
Manteision
Rheolaeth tymheredd uchel-fanwl:
Cywirdeb ±0.5 gradd; hyd yn oed ar 1100 gradd , mae sefydlogrwydd pwynt sengl yn aros ±0.5 gradd am 24 awr, gan sicrhau ailadrodd data dibynadwy.
Cydnawsedd proses aml--:
Mae ffwrneisi fertigol yn cynnal trylediad/ocsidiad; mae rhai llorweddol yn ychwanegu anelio & LPCVD. Mae'r ddau yn ffitio ymchwil a datblygu sglodion SiC/cwantwm.
Ymchwilio{0}}addasrwydd cyfeillgar:
Yn gweithio gyda Lai na neu'n hafal i wafferi 8-modfedd (1-4 tiwb yn ddewisol). Mae dyluniad swp bach tiwb sengl yn torri costau; yn cefnogi rhediadau parhaus hir ar gyfer arbrofion.
Paramedrau
|
Eitem |
Ffwrnais Tiwb Fertigol |
Ffwrnais Tiwb Llorweddol |
|
Amrediad Tymheredd |
200 gradd -600 gradd, 600 gradd -1200 gradd (dwy ystod yn ddewisol) |
200 gradd -600 gradd, 600 gradd -1200 gradd (dwy ystod yn ddewisol) |
|
Cywirdeb Rheoli Tymheredd |
Llai na neu'n hafal i ±0.5 gradd |
Llai na neu'n hafal i ±0.5 gradd |
|
Unffurfiaeth Tymheredd |
- |
Llai na neu'n hafal i ±1 gradd |
|
Sefydlogrwydd Tymheredd -pwynt sengl |
Llai na neu'n hafal i ±0.5 gradd @1100 gradd am 24 awr yn olynol |
Llai na neu'n hafal i ±0.5 gradd @1100 gradd am 24 awr yn olynol |
|
Cyfradd Gwres Uchaf |
10 gradd / mun |
10 gradd / mun |
|
Hyd Parth Tymheredd Cyson |
200-500mm |
200-500mm |
FAQ
Pa feintiau wafferi y mae ffwrnais thermol y tiwb yn eu trin?
Mae modelau fertigol a llorweddol yn cynnal wafferi hyd at 8 modfedd.
Pa brosesau craidd y gallant eu perfformio?
Ffwrnais Tiwb Fertigol: Yn cwmpasu trylediad, ocsidiad ac anelio.
Ffwrnais Tiwb Llorweddol: Yn ychwanegu integreiddio LPCVD ar ben y pethau sylfaenol hynny.
A ellir addasu nifer y tiwbiau proses?
Yn hollol-gallwch ddewis 1 i 4 tiwb yr uned, yn seiliedig ar eich anghenion.
Pa mor fanwl gywir yw'r rheolaeth tymheredd?
Mae cywirdeb rheoli tymheredd yn aros o fewn ± 0.5 gradd. Hyd yn oed ar 1100 gradd, mae un pwynt yn cynnal sefydlogrwydd o fewn ± 0.5 gradd am 24 awr syth. Ar gyfer ffwrneisi llorweddol, mae unffurfiaeth tymheredd o fewn ± 1 gradd hefyd.
Beth am gyfradd gwresogi ac ystod tymheredd?
Mae'r gyfradd wresogi uchaf yn cyrraedd 10 gradd / mun, gyda dwy ystod tymheredd ar gael: 200-600 gradd a 600-1200 gradd.
A yw hyd y parth tymheredd cyson yn addasadwy?
Mae'n amrywio o 200-500mm yn ddiofyn, a chefnogir addasu.
Pa un sy'n well ar gyfer labordai ymchwil prifysgol?
Ewch am fertigol os oes angen prosesau sylfaenol arnoch-mae'n arbed lle ac yn gost-effeithiol. Dewiswch yn llorweddol os oes angen LPCVD, cefnogaeth addysgu, neu i bontio gwaith labordy a chynhyrchu màs.
A all redeg arbrofion hir? Ydy cynnal a chadw yn gostus?
Mae'n cefnogi gweithrediad-dymor hir di-stop. Mae cynnal a chadw yn anaml, felly mae'r costau'n parhau i fod yn hylaw.
A yw'n addas ar gyfer cynhyrchu peilot neu swp-gynhyrchu bach?
Ydy-mae'r ddau fodel yn newid yn esmwyth rhwng ymchwil a datblygu a- swp-gynhyrchu bach.
Tagiau poblogaidd: ffwrnais thermol tiwb, gweithgynhyrchwyr ffwrnais thermol tiwb Tsieina, cyflenwyr
