Trosolwg o'r cynnyrch

Mae'r Offer RTP Semi-Awtomatig hwn yn eithaf ymarferol, yn gallu prosesu wafferi o 8 i 12 modfedd. Mae'r Offer RTP Semi-Awtomatig yn cynnig rheolaeth tymheredd fanwl gywir a chynnwys ocsigen isel iawn, gan ei wneud yn ddelfrydol ar gyfer cymwysiadau sydd angen purdeb proses uchel. Ar ben hynny, mae'n gyfoethog o ran nodweddion, gan gefnogi dulliau prosesu atmosfferig a dan wactod, ac mae'n cynnwys nodweddion diogelwch triphlyg. Mae'n berffaith ar gyfer prosesau fel optimeiddio ITO ac anelio aloi silicad mewn-cynhyrchu cyfaint canolig.

Manteision

Addasrwydd Eang:

Yn trin wafferi 8-12 modfedd, gan ddiwallu anghenion cynhyrchu swp o wahanol feintiau. Mae ffurfweddiadau lampau ac AAD hyblyg yn addasu i senarios proses amrywiol.

Mae Awtomatiaeth yn Gwella Effeithlonrwydd:

Er bod angen llwytho a dadlwytho wafferi â llaw o hyd, mae drws y siambr yn agor ac yn cau'n awtomatig ar ôl cychwyn y broses, gan leihau ymyrraeth â llaw a gwella effeithlonrwydd gweithredol a chysondeb prosesau.

Awyrgylch manwl gywir:

Cynnwys ocsigen<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Diogel a Dibynadwy:

Yn meddu ar nodweddion diogelwch triphlyg, ynghyd â rheolaeth drws siambr awtomatig, lleihau risgiau gweithredol a phroses a sicrhau gweithrediad offer sefydlog.

Paramedrau

Model	CTRh{0}}SA-8	CTRh{0}}SA-12
Maint Wafer	8 modfedd ac is	12 modfedd ac is
Maint	970mm × 1550mm × 2160mm(W×D×H)	1050mm × 1740mm × 2240mm (W×D×H)
Amrediad Tymheredd	RT ~ ~ 800 gradd (Rheoli gan thermocop) 500 gradd ~ 1250 gradd (a reolir gan pyromedr)	RT ~ ~ 800 gradd (Rheoli gan thermocop) 500 gradd ~ 1250 gradd (a reolir gan pyromedr)
Cyfradd Gwresogi Uchaf	150 gradd / s --- Waffer yn unig 20 gradd / s --- cludwr SiC 30 gradd / s --- Gorchudd cludo graffit SiC	150 gradd / s --- Waffer yn unig 20 gradd / s --- cludwr SiC 30 gradd / s --- Gorchudd cludo graffit SiC
Unffurfiaeth tymheredd	Llai na neu'n hafal i ±3 gradd @ Llai na neu'n hafal i 600 gradd Llai na neu'n hafal i ±0.5% @ ＞600 gradd	Llai na neu'n hafal i ±3 gradd @ Llai na neu'n hafal i 600 gradd Llai na neu'n hafal i ±0.5% @ ＞600 gradd
Tymheredd Ailadrodd	±1 gradd	±1 gradd
Nifer y Lampau/SCRs	33 ea / 10 set	41 ea/16 set 55ea/24 set
Uchafswm MFC	6	6
Pwysau Isaf	30mTorr	30mTorr
Cyfradd Gollyngiadau	10mTorr/munud	10mTorr/munud
O₂Canran	＜1 ppm	＜1 ppm
Uchafswm/ Pŵer Cyf	90/ 50 Kw	100/ 60 Kw
Foltedd	380V/ 60HZ/ 3 Gwifrau Cam 5	380V/ 60HZ/ 3 Gwifrau Cam 5
Dull Rheoli	Rheolaeth PC	Rheolaeth PC

FAQ

Drws 1.Chamber ddim yn agor/cau yn awtomatig?

Gwiriwch a ddechreuodd y broses fel arfer. Ailgychwynnwch yr offer a cheisiwch eto. Os bydd y broblem yn parhau, gwiriwch wifrau synhwyrydd drws y siambr.

Mae cynnwys 2.Oxygen yn fwy na 1 ppm?

Gosod nwy anadweithiol purdeb uchel yn ei le. Gwiriwch am ollyngiadau yn y biblinell nwy. Atgyweirio ac ailbrofi lefelau ocsigen.

Gwresogi wafferi 3.Uneven?

Cadarnhewch fod maint y waffer yn gywir (8/12 modfedd). Glanhewch y siambr cwarts. Os bydd y broblem yn parhau, cysylltwch â pheiriannydd i addasu pŵer y lamp.

4.Wafer yn llithro'n hawdd yn ystod llwytho / dadlwytho â llaw?

Glanhewch wyneb y cludwr. Gwthiwch y wafer yn ysgafn i'r ganolfan wrth lwytho / dadlwytho. Gwisgwch fenig gwrthlithro, rhydd o lwch.

5.How i stopio mewn argyfwng?

Pwyswch "EMO Emergency Stop" i dorri'r ffynhonnell wres i ffwrdd. Ar ôl datrys y broblem, pwyswch y botwm "Ailosod" i ailgychwyn.