Mae ffotoresist yn gymysgedd o bolymerau a rhai cyfansoddion, ymhlith y pwysicaf yw generadur asid ffoto (PAG). Pan fydd ffotonau'n taro PAG, cynhyrchir asid sy'n adweithio â'r polymer, gan ei ddadelfennu ac achosi iddo gael ei hydoddi gan y datblygwr.
Fel arfer, rhennir ffotoresist ffotolithograffeg yn ddau fath: ffotoresydd positif a ffotoresist negyddol.
Ffotoresydd positif: Mae'r rhan agored yn hydawdd yn y datrysiad datblygwr, tra bod y rhan heb ei datgelu yn anhydawdd yn y datrysiad datblygwr. Ar ôl datblygu, mae'r patrwm photoresist sy'n weddill ar y swbstrad yr un fath â'r patrwm targed ar y plât mwgwd.
Ffotoresydd negyddol: Mae'r rhan agored yn anhydawdd yn y datrysiad datblygwr, tra bod y rhan heb ei hamlygu yn hydawdd yn y datrysiad datblygwr. Mae'r patrwm ffotoresist sy'n weddill ar y swbstrad ar ôl ei ddatblygu yn ategu'r patrwm targed ar y plât mwgwd.
Felly, ar gyfer ffotoresydd positif, mae ysgythru'r swbstrad heb amddiffyniad ffotoresist ar ôl cwblhau ffotolithograffeg, ac yn olaf golchi'r ffotoresydd sy'n weddill, yn cyflawni'r broses adeiladu un cam o ddyfeisiau lled-ddargludyddion ar wyneb y swbstrad.
