Yn ôl eu gwahanol ddefnyddiau, gellir eu rhannu yn y rhai a ddefnyddir ar gyfer cynhyrchu sglodion, pecynnu a gweithgynhyrchu LED.
Yn ôl y gwahanol ffynonellau golau, gellir eu rhannu'n ffynonellau golau uwchfioled (UV), ffynonellau golau uwchfioled dwfn (DUV), a ffynonellau golau uwchfioled eithafol (EUV). Mae tonfedd y ffynhonnell golau yn effeithio ar broses y peiriant lithograffeg.
Mae'r peiriant lithograffeg uwchfioled eithafol wedi mabwysiadu dull newydd o ddarparu ffynonellau golau tonfedd byrrach ymhellach. Y prif ddull a ddefnyddir ar hyn o bryd yw arbelydru laser excimer ar eneradur defnyn tun, ffotonau cyffrous 13.5nm fel ffynhonnell golau ar gyfer y peiriant lithograffeg. Ar hyn o bryd ASML yw'r unig wneuthurwr yn y byd sy'n gallu dylunio a gweithgynhyrchu offer lithograffeg EUV.
Yn ôl gwahanol ddulliau gweithredu, gellir ei rannu'n lithograffeg cyswllt, lithograffeg ysgrifennu uniongyrchol, a lithograffeg taflunio.
argraffu cyswllt
Cyswllt Argraffu
Mae'r plât mwgwd mewn cysylltiad uniongyrchol â'r haen ffotoresist. Mae cydraniad y patrwm agored yn debyg i benderfyniad y patrwm ar y plât mwgwd, ac mae'r offer yn syml. Yn ôl y dull o gymhwyso grym, gellir rhannu cyswllt yn gyswllt meddal, cyswllt caled, a chyswllt gwactod.
1a. Mae cyswllt meddal yn cyfeirio at y broses o osod swbstrad ar hambwrdd (yn debyg i ddull gosod swbstrad gwasgarwr glud), gyda mwgwd yn gorchuddio'r swbstrad;
1b. Cyswllt caled yw'r broses o wthio'r swbstrad i fyny o dan bwysau (nitrogen) i gysylltu â'r plât mwgwd;
1c. Cyswllt gwactod yw'r broses o echdynnu aer rhwng y plât mwgwd a'r swbstrad i sicrhau adlyniad gwell.
Nodweddion: bwrdd mwgwd halogiad photoresist; Mae platiau mwgwd yn dueddol o gael eu difrodi ac mae ganddynt oes fer (dim ond 5 i 25 defnydd); Hawdd i gronni diffygion.
Lithograffeg agosrwydd
Argraffu Agosrwydd
Mae bwlch bach (tua 2.5-25 μ m) rhwng y plât mwgwd a haen isaf y swbstrad photoresist. Gall osgoi difrod i'r plât mwgwd yn effeithiol a achosir gan gyswllt uniongyrchol â photoresist, gan wneud y mwgwd a'r swbstrad ffotoresist yn wydn i'w defnyddio; Mae gan y mwgwd oes hir (y gellir ei gynyddu fwy na 10 gwaith) a llai o ddiffygion graffig. Defnyddir lithograffeg agosrwydd yn eang mewn prosesau ffotolithograffeg modern.
