Trosolwg o'r cynnyrch
Mae SCD6 a SCD6S yn systemau gorchuddio a datblygwr troelli awtomatig cryno 6 modfedd ar gyfer lled-ddargludyddion cyfansawdd, dyfais pŵer, MEMS a gweithgynhyrchu optoelectroneg.
SCD6: Wedi'i dargedu ar gyfer dyfais pŵer a chynhyrchu LED. Mae'n mabwysiadu strwythur cryno, yn cefnogi swbstradau fel Si, Sapphire, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN, ac yn cyd-fynd â phrosesau llinell G-llinell / i{-.
SCD6S: Wedi'i gyfeirio at MEMS, cylched integredig RF, cyfathrebu optegol ac ymchwil labordy. Mae'n ehangu cydnawsedd deunydd i Gwydr, ac yn ychwanegu gallu prosesau DP, gan ddarparu hyblygrwydd uwch ar gyfer tasgau cynhyrchu ymchwil a datblygu a pheilot amrywiol.
Mae'r ddau fodel yn cynnwys ôl-troed bach, maint deuol cydnaws heb amnewidiad rhannol, bwydo pwmp mesuryddion ffotoresist manwl gywir, a-gynhwysiant cynhwysfawr mewn swyddogaethau megis EBR, BSR a glanhau ceir ffroenell.
Manteision
Gwahaniaethu model ar gyfer gwahanol senarios Mae SCD6 yn optimeiddio ar gyfer cynhyrchu pŵer / màs LED; Mae SCD6S yn ychwanegu proses DP a chymorth swbstrad gwydr ar gyfer MEMS, RF ac ymchwil-defnyddwyr sydd â gogwydd.
Modiwlau dewisol hyblyg Cefnogi rheolaeth tymheredd ffotoresydd / datblygwr, modiwl preimio anwedd HMDS i gyd-fynd â gofynion proses amrywiol.
Gallu olrhain cyflawn Storio tymor hir ar gyfer logiau methiant offer a chofnodion paramedr prosesu, sy'n gyfleus ar gyfer olrhain ansawdd a dadansoddi prosesau.
Swyddogaethau proses safonol cynhwysfawr Wedi'u hadeiladu-yn swyddogaethau EBR, BSR, RRC, ffroenell glud, lleithio a glanhau awtomatig i sicrhau ansawdd lithograffeg sefydlog.
Dosbarthiad ffotoresist manwl uchel-Pwmp mesur manwl gywir ar gyfer cyflenwad ffotoresydd, cywirdeb dosio uchel a bwydo hylif sefydlog; gosod rysáit hawdd ar gyfer cyfaint dosbarthu.
Paramedrau
|
Eitem |
SCD6 |
SCD6S |
|
Model |
SCD6 6-coater sbin modfedd a datblygwr |
SCD6S 6-modfedd Sbin Coater & Datblygwr |
|
Maint Wafferi |
6-modfedd (150 mm), maint deuol gydnaws heb amnewid rhan |
6-modfedd (150 mm), maint deuol gydnaws heb amnewid rhan |
|
Deunydd swbstrad |
Si, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, Gwydr, Sapphire |
|
Ffurfweddau Siambr |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Proses Lithograffeg â Chymorth |
G{0}}llinell, i-llinell |
G-llinell, i-llinell, DP |
|
Dimensiwn Offer (W × D × H) |
1050 × 1900 × 2200 mm |
1500 × 1450 × 2200 mm |
|
Unedau Dewisol |
Rheoli tymheredd Photoresist / datblygwr, modiwl HMDS |
Rheoli tymheredd Photoresist / datblygwr, modiwl HMDS |
|
Ffwythiannau craidd-wedi'u hymgorffori |
EBR, BSR, RRC, ffroenell awto-lleithu a glanhau |
EBR, BSR, RRC, ffroenell awto-lleithu a glanhau |
|
Modd Rheoli |
Rheolaeth leol,-dymor hir o storio ryseitiau a logiau diffygion |
Rheolaeth leol,-dymor hir o storio ryseitiau a logiau diffygion |
|
Ardystiad |
Cydymffurfio â SEMI S2 |
Cydymffurfio â SEMI S2 |
Cwestiynau Cyffredin
C: Beth yw'r gwahaniaeth rhwng SCD6 a SCD6S?
A: Mae SCD6 wedi'i optimeiddio ar gyfer dyfais pŵer a chynhyrchu màs LED, gan gefnogi swbstradau lled-ddargludyddion cyfansawdd amrywiol (Sapphire, GaN, SiC ac ati) gyda phrosesau llinell G llinell / i. Mae SCD6S yn ychwanegu gallu proses DP a chydnawsedd swbstrad gwydr, sy'n fwy addas ar gyfer senarios MEMS, RF IC, cyfathrebu optegol ac ymchwil a datblygu labordy. Mae ffurfweddiadau siambr a dimensiynau ffisegol hefyd yn wahanol.
C: A yw SCD6 / SCD6S yn cefnogi newid maint wafferi?
A: Ydw. Mae'r ddau fodel yn cefnogi cydnawsedd maint deuol heb ddisodli rhannau sbâr, gan fyrhau amser newid cynnyrch.
C: Pa fodiwlau dewisol y gellir eu dewis?
A: Mae modiwl rheoli tymheredd ffotoresydd a datblygwr, modiwl preimio HMDS ar gael ar gyfer SCD6 a SCD6S.
C: A all y broses storio peiriant a hanes namau?
A: Ydw. Gellir arbed paramedrau proses a chofnodion namau offer yn y tymor hir ar gyfer olrhain ansawdd yn ôl a dadfygio prosesau.
C: A ydynt yn addas ar gyfer cynhyrchu màs neu ddefnydd labordy yn unig?
A: Mae'r ddau yn cefnogi cynhyrchu màs swp bach yn ogystal ag ymchwil a datblygu labordy. Mae SCD6 yn canolbwyntio mwy ar weithgynhyrchu pŵer / cyfaint LED; Mae SCD6S yn cyd-fynd â phrosiectau cynhyrchu ac ymchwil peilot.
Tagiau poblogaidd: Coater troelli a datblygwr 6 modfedd, gweithgynhyrchwyr sbin-coater a datblygwr Tsieina 6 modfedd, cyflenwyr
