Trosolwg o'r cynnyrch
Mae HII 100 yn fewnblanwr ïon H/He arbenigol. Mae wedi'i adeiladu'n bwrpasol ar gyfer prosesau mewnblannu ïonau hydrogen a heliwm, yn enwedig ar gyfer mewnblannu deunydd insiwleiddio electrostatig a thechnoleg hollti haenau. Gan fabwysiadu pensaernïaeth mewnblannu swp, mae'r offer yn cefnogi mewnblannu dosau uchel o ynni a dos uchel. Mae ganddo swyddogaeth cawod plasma dwyochrog i liniaru cronni gwefr a difrod electrostatig ar wafferi yn effeithiol. Mae'r offeryn hwn yn gwasanaethu-gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion cyfansawdd, codi deunydd SOI-diffodd, addasu deunydd a gofynion cynhyrchu ymchwil a datblygu a pheilot cysylltiedig-ar gyfer wafferi 4-modfedd a 6 modfedd.
Manteision
1. System gawod plasma dwyochrog: Yn atal difrod gwefru electrostatig yn effeithiol, yn hynod addas ar gyfer mewnblannu swbstradau insiwleiddio sensitif electrostatig.
2. Mewnblannu swp dos o ynni uchel ac uchel: Yn cefnogi prosesu swp-wafferi gydag uchafswm egni uchel a gallu dos mawr, gan wella trwygyrch ar gyfer prosesau trosglwyddo a hollti haenau.
3. Wedi'i optimeiddio ar gyfer mewnblaniad tra-arglwyddiaethol H/He: mae system llinell Beam wedi'i thiwnio ar gyfer ïonau hydrogen a heliwm; hefyd yn gydnaws â B, Ar a rhywogaethau mewnblaniadau ategol eraill ar gyfer gofynion prosesau amrywiol.
4. Tymheredd proses y gellir ei reoli: Rheoli tymheredd wafferi sefydlog o fewn gradd RT-200 i gwrdd â chyfyngiadau thermol deunyddiau arbennig.
Sefydlogrwydd trawst cadarn: Mae ffynhonnell ïon dibynadwy a dyluniad trafnidiaeth trawst yn gwarantu-sefydlogrwydd rhedeg hir ar gyfer ymchwil deunydd a chynhyrchu cyfaint peilot.
Ceisiadau
Codi deunydd-hollti/haenau ar gyfer SOI a thechnolegau torri-clyfar tebyg
Mewnblannu ar gyfer insiwleiddio a deunyddiau sy'n sensitif i electrostatig
Addasiad-deunydd lled-ddargludyddion cyfansawdd
Ymchwil wyddonol,-datblygu deunydd newydd a chynhyrchu peilot
Paramedrau
|
Eitem |
Manyleb |
|
Maint Wafferi |
6 modfedd, 4 modfedd |
|
Ystod Ynni (tâl-sengl) |
30-400 keV |
|
Rhywogaethau Mewnblaniad |
H, Ef, B, Ar |
|
Tymheredd Wafer Proses |
RT-200 gradd |
FAQ
C: Beth yw nodwedd allweddol HII 100 o'i gymharu â mewnblanwyr pwrpas cyffredinol?
A: Ei uchafbwynt craidd yw swyddogaeth cawod plasma dwy ochr, sy'n datrys risgiau difrod electrostatig ar gyfer inswleiddio a gwefru wafferi sensitif. Mae wedi'i optimeiddio ar gyfer mewnblannu swp H / He dos uchel ar gyfer prosesau hollti deunyddiau.
C: Ar gyfer pa brosesau nodweddiadol y defnyddir HII 100 yn bennaf?
A: Fe'i cymhwysir yn eang ar gyfer hollti haen a achosir gan H / He (Smart Cut), mewnblannu ïon deunydd inswleiddio, ac addasu lled-ddargludyddion cyfansawdd yn sylweddol. Mae'n cyd-fynd ag ymchwil ar raddfa labordy a chynhyrchu peilot swp bach.
C: Pa feintiau wafferi y gall HII 100 eu trin?
A: Cefnogaeth safonol ar gyfer wafferi 4 modfedd a 6 modfedd. Gellir ystyried deiliaid sampl personol ar gyfer darnau bach arbennig ar gais.
C: A all ïonau mewnblannu HII 100 heblaw H ac He?
A: Ydw. Ar wahân i H ac He, mae'n cefnogi B ac Ar ar gyfer prosesau mewnblannu ategol.
C: Beth yw'r ystod tymheredd gweithio yn ystod y mewnblannu?
A: Mae tymheredd y broses wafferi yn amrywio o dymheredd ystafell hyd at 200 gradd, gan gydweddu â gofynion swbstrad sensitif thermol.
C: A all HII 100 weithio gyda mewnblanwyr SEMICORE ZKX eraill?
A: Ydw. Gall gydweithredu â mewnblanwyr pwrpasol SiC, mewnblanwyr amlswyddogaethol wedi'u teilwra a llwyfannau cyfres CIP/CIC/CIE gradd cynhyrchu. Gall gwblhau ymchwil ymlaen llaw i ryseitiau deunydd arbennig cyn treialon masgynhyrchu.
C: Pa wasanaethau ar ôl gwerthu sydd ar gael?
A: Rydym yn darparu cyflenwad darnau sbâr, gosod a chomisiynu ar y safle, cynnal a chadw arferol, a chymorth technegol ar gyfer dadfygio ryseitiau proses arbennig.
Tagiau poblogaidd: impiwr ïon h/ef, Tsieina gweithgynhyrchwyr mewnblanwyr ïon, cyflenwyr
