Os ydych chi mewn gweithgynhyrchu electroneg lled-ddargludol neu fanwl uchel, rydych chi'n gwybod pa mor hanfodol yw hi i gael offer sy'n cydbwyso perfformiad, hyblygrwydd a dibynadwyedd. Mae'r uned RTP lled-awtomatig (Rapid Thermal Processing) hon yn gwirio'r holl flychau hynny-ac mae wedi'i theilwra i gyd-fynd ag anghenion cynhyrchu penodol y mae llawer o fusnesau a labordai yn eu hwynebu bob dydd. Gadewch i ni dorri i lawr lle mae'n disgleirio a phwy fydd yn elwa fwyaf.
Senarios Craidd Mae'n Rhagori Ynddynt
Yn gyntaf, mae'r offer hwn wedi'i adeiladu ar gyfer wafferi 8-12 modfedd{-yn cwmpasu'r meintiau mwyaf cyffredin yng nghanol-cynhyrchu graddfa. Yr hyn sy'n ei osod ar wahân mewn gwirionedd yw ei allu i drin prosesau sy'n gofyn am burdeb a manwl gywirdeb, fel optimeiddio ITO ac anelio aloi silicon. Os yw'ch gwaith yn cynnwys anelio sy'n sensitif i amhuredd, byddwch yn gwerthfawrogi'r cynnwys ocsigen o dan 1ppm, ynghyd â MFC 6-sianel ar gyfer deialu yn yr awyrgylch adwaith union.
Mae hefyd yn amlbwrpas pan ddaw i bwysau: newid rhwng prosesu atmosfferig a dan wactod (i lawr i 30mTorr) heb drafferth-gwych ar gyfer prosiectau sydd angen amodau amgylcheddol gwahanol. Ac ar gyfer swp-gynhyrchu canolig, aml-gyfrol? Mae'n taro cydbwysedd braf: rydych chi'n dal i lwytho / dadlwytho wafferi â llaw (sy'n ddefnyddiol ar gyfer rhediadau bach neu newidiadau cyflym), ond mae drws y siambr yn agor / cau'n awtomatig unwaith y bydd y broses yn dechrau. Mae hynny'n cwtogi ar gamgymeriadau dynol ac yn cadw cysondeb yn uchel-dim canlyniadau rhyfeddach o weithrediad llaw anghyson.
Ar gyfer pwy mae'r Offer hwn
1. Gwneuthurwyr lled-ddargludyddion bach i-ganolig: Os ydych chi'n cynhyrchu ar raddfa ganolig ac angen hyblygrwydd heb y tag pris o awtomeiddio llawn, dyma'r peth i chi. Mae'n addasu i wahanol feintiau wafferi a gosodiadau proses (diolch i gyfluniadau lampau ac AAD hyblyg) ac yn cadw'r gwaith cynnal a chadw yn syml.
2. Gwneuthurwyr cydrannau/synwyryddion electronig: Nid yw -rheolaeth tymheredd uchel, manwl gywir (±1 gradd ailadroddadwy!) yn-trafodadwy ar gyfer cydrannau dibynadwy-mae'r uned hon yn darparu hynny, ynghyd â nodweddion diogelwch triphlyg i gadw gweithrediadau'n llyfn.
3. Labordai ymchwil a phrifysgolion: Pan fyddwch chi'n profi deunyddiau newydd neu'n optimeiddio prosesau (sypiau bach, llawer o baramedrau), mae'r amrediad tymheredd eang (tymheredd yr ystafell i 1250 gradd) a chyfraddau gwresogi addasadwy yn ffitio'n iawn i mewn. Mae'n ddigon cywir ar gyfer data dilys ond yn ddigon hyblyg i addasu gosodiadau ar y hedfan.
4. Darparwyr gwasanaeth lled-ddargludyddion personol: Gyda chleientiaid yn gofyn am wahanol fanylebau, mae angen offer arnoch a all symud gerau yn gyflym. Mae'r CTRh hwn yn ymdrin ag anghenion proses amrywiol-o atmosfferig i wactod, cludwyr gwahanol (SiC, graffit-wedi'u gorchuddio â SiC)-heb golli curiad.
5. Busnesau yn uwchraddio hen offer/gêr â llaw: Os ydych chi wedi blino ar ganlyniadau anghyson o offer llaw ond nad ydych am fuddsoddi mewn awtomeiddio llawn, mae hwn yn dir canol smart. Mae'n effeithlon, yn cydymffurfio â safonau SEMI S2, ac ni fydd yn torri'r banc.
Bonws? Mae gan broblemau cyffredin (fel diffygion drws siambr neu bigau ocsigen) atebion syml-nid oes angen aros am arbenigwr bob tro. A chyda'r ardystiad SEMI S2 hwnnw, nid oes rhaid i chi boeni am fodloni safonau diogelwch ac amgylcheddol y diwydiant. Ar y cyfan, mae'n ddatrysiad perfformiad di-ffws, uchel i unrhyw un sydd angen prosesu thermol manwl gywir heb gymhlethdod systemau cwbl awtomataidd.
