Gadewch i ni fod yn wir-Nid dim ond ticio blychau yw dewis ffwrnais anelio. Mae'n ymwneud â dod o hyd i rywbeth sy'n cyd-fynd â'ch llif gwaith, p'un a ydych chi'n tincian mewn labordy neu'n corddi wafferi 24/7. Mae gennym ni chwe model CTRh (Prosesu Thermol Cyflym), pob un wedi'i adeiladu ar gyfer swyddi penodol, felly gadewch i ni ddadansoddi sut i sero i mewn ar yr un sy'n gweithio i chi mewn gwirionedd-nid y ffordd arall.
Yn gyntaf: Ewinedd i lawr y pethau sylfaenol sy'n bwysig fwyaf
Cyn i chi gael eich llethu mewn manylebau, dechreuwch gyda thri chwestiwn syml. Bydd y rhain yn torri trwy'r sŵn yn gyflymach nag unrhyw beth arall.
1. Faint Ydych Chi'n Gwneud, a Pa Maint Wafferi Ydych Chi'n Defnyddio?
Nid yw eich allbwn a maint eich wafferi yn-trafodadwy-byddant ar unwaith yn diystyru modelau na allant gadw i fyny neu ffitio eich rhannau.
Er enghraifft:
Os ydych chi'n labordy prifysgol yn profi deunyddiau newydd gyda wafferi 4- (a dim ond llond llaw yr wythnos sydd ei angen arnoch), mae ein hoffer CTRh Bwrdd Gwaith yn berffaith. Mae'n 6 modfedd ar y mwyaf ac yn ffitio ar fainc waith - nid oes angen ôl troed anferth.
Os ydych chi'n gwthio allan wafferi 8{-modfedd (dyweder, 500 i 2,000 yr wythnos) ar gyfer cynhyrchu cyfaint canolig, mae'r offer CTRh Lled-Awtomatig yn gwneud synnwyr. Mae'n trin 8-12 modfedd ac yn torri i lawr ar waith llaw heb gost awtomeiddio llawn.
Ar gyfer siopau cyfaint uchel (2,000+ wafferi'r wythnos, maint 12 modfedd), byddwch chi eisiau'r offer RTP Awtomatig neu'r offer RTP Tymheredd Ocsidiad Uchel. Mae'r un Awtomatig yn rhedeg 24/7 gyda robotiaid - dim gwall dynol yn arafu pethau.
Mae'n syml: Peidiwch â phrynu ffwrnais 12 modfedd os ydych chi'n defnyddio wafferi 6 modfedd yn unig. Byddwch yn gwastraffu lle ac arian.
2. Beth Yn union Ydych Chi'n Ceisio Ei Wneud?
Nid yw ein ffwrneisi yn un-merlod tric-ond maent wedi'u hoptimeiddio ar gyfer swyddi penodol. Os oes angen i chi dyfu ffilmiau SiO₂ ar gyfer sglodion CMOS, peidiwch â gafael mewn model sydd wedi'i adeiladu ar gyfer anelio gwres isel.
Dyma'r gêm gyflym:
Tyfu ffilmiau SiO₂ glân, trwchus (ar gyfer IGBTs neu MEMS)? Mynd gyda'r offer RTP Tymheredd Ocsidiad Uchel. Mae'n taro'r union dymheredd (600–1150 gradd ) ac yn cadw ocsigen yn hynod isel-yn hanfodol ar gyfer ansawdd ffilm.
Angen newid rhwng ocsidiad, trylediad, ac anelio (i gyd mewn un peiriant)? Eich dyn chi yw'r offer RTP Ocsidiad a Thrydlediad. Mae ganddo 1-4 tiwb proses, felly gallwch chi redeg dwy swydd ar unwaith os oes angen.
Gweithio gydag optoelectroneg (fel VCSELs) sydd angen anelio gwres isel (250–500 gradd )? Mae'r offer RTP Tymheredd Isel- yn cael ei wneud ar gyfer hyn. Mae'n osgoi llosgi deunyddiau cain ac yn cadw'r allwedd gronynnau i lawr ar gyfer perfformiad dyfais opto.
Dim ond angen anelio sylfaenol (fel cyffyrddiad mewnblannu ïon-ups) ar gyfer prototeipiau? Mae'r CTRh Bwrdd Gwaith yn gwneud y gwaith heb or-gymhlethu pethau.
3. Pa Ddeunyddiau Ydych Chi'n Gweithio Gyda nhw?
Nid yw pob ffwrnais yn chwarae'n braf gyda phob defnydd.
Hepgor y gwaith dyfalu:
Silicon (ar gyfer ICs neu IGBTs safonol)? Mae'r rhan fwyaf o fodelau yn gweithio, ond mae'r offer CTRh Ocsidiad a Thrydlediad yn wych os oes angen prosesau lluosog arnoch.
Pethau eang fel SiC neu GaN (ar gyfer modiwlau pŵer EV)? Mae'r offer RTP Ocsidiad a Thrydlediad yn delio â'u hanghenion gwres uchel (400–1200 gradd ), neu'r Cynllun Trafnidiaeth Rhanbarthol Tymheredd Uchel os ydych chi'n canolbwyntio ar ffilmiau.
Lithium niobate (ar gyfer optoelectroneg)? Cadw at yr offer RTP Tymheredd Isel. Ni fydd ei amrediad 250-500 gradd yn niweidio'r deunydd fel y byddai model gwres uchel.
Nesaf: Plymiwch i Fanylebau sy'n Effeithio Mewn Gwirionedd ar Eich Gwaith
Unwaith y bydd gennych y pethau sylfaenol, mae'n bryd gwirio'r manylebau a fydd yn gwneud neu'n torri'ch proses. Peidiwch â chael eich hongian ar bob rhif-canolbwyntiwch ar y tri hyn.
Rheoli Tymheredd: Cael Pethau'n Iawn, neu Bydd Eich Rhannau'n Dioddef
Os oes angen rheolaeth dros dro dynn ar eich proses, peidiwch â chyfaddawdu. Er enghraifft:
Mae gan yr offer RTP Tymheredd Isel 860 barth gwastad 860mm (dyna'r ardal gyda gwres cyson) - perffaith ar gyfer sicrhau bod pob waffer mewn swp yn cael yr un driniaeth.
Mae'r offer RTP Tymheredd Uchel Ocsidiad yn taro ±0.5 gradd cywirdeb-nad yw{-yn agored i drafodaeth os ydych chi'n tyfu ffilmiau SiO₂ lle mae hyd yn oed shifft tymheredd bychan yn difetha ansawdd.
Os byddwch yn newid rhwng tymheredd isel ac uchel (dyweder, 500–1000 gradd ), mae gan y CTRhau Lled-awtomatig neu Awtomatig reolaeth ddeuol: thermocyplau ar gyfer tymereddau is, pyromedrau ar gyfer rhai uwch. Nid oes angen addasiadau â llaw.
Awtomeiddio: Faint o Waith Ydych chi Eisiau Ei Wneud?
Nid "ffansi" yn unig yw awtomeiddio - mae'n ymwneud â chysondeb a chyflymder.
Os ydych chi'n labordy gydag un person yn trin samplau, mae llwytho â llaw (offer CTRh Penbwrdd) yn iawn. Ni fydd angen robotiaid arnoch ar gyfer 10 wafferi yr wythnos.
Ar gyfer cyfaint canolig, mae drws siambr auto y Semi-RTP awtomatig yn arbed amser-rydych yn llwytho'r wafer, taro'r dechrau, ac mae'r drws yn agor/cau ar ei ben ei hun. Llai o sefyll o gwmpas, llai o gamgymeriadau.
Siopau cyfaint uchel? Mae robotiaid y Cynllun Trafnidiaeth Rhanbarthol Awtomatig yn trin llwytho, alinio ac oeri-ac mae'n cysylltu â'ch system rheoli cynhyrchu. Mae ganddo gyfradd torri wafferi hyd yn oed o dan 1 mewn 10,000. Gwerth y buddsoddiad os yw amser segur yn costio arian i chi.
Atmosffer: Cadwch Amhuredd Allan (Os Mae Angen i Chi)
Os yw eich proses yn sensitif i ocsigen (fel dopio lled-ddargludyddion), peidiwch â hepgor hyn.
Mae'r CTRh Lled-awtomatig ac Awtomatig yn cadw ocsigen o dan 1 ppm-yn hynod lân. Mae ganddyn nhw hefyd 6 MFC (rheolwyr llif torfol) i addasu cymysgeddau nwy yn union fel sydd ei angen arnoch chi.
Mae'r offer CTRh Bwrdd Gwaith o dan 3 ppm-yn ddigon da ar gyfer swyddi sylfaenol, ond nid ar gyfer prosesau pur iawn.
Os ydych chi'n gwneud ocsidiad syml yn unig, mae 3 ppm yn iawn. Os ydych chi'n gwneud sglodion lle mae hyd yn oed amhuredd bach yn lladd perfformiad, gwanwyn ar gyfer y<1 ppm models.
Yn olaf: Peidiwch ag Anghofio'r Stwff Ymarferol
Ni fydd hyd yn oed y ffwrnais orau yn gweithio os nad yw'n ffitio'ch gofod neu'ch cyllideb.
Gofod: Mesur yn Gyntaf, Prynu'n Ddiweddarach
Lab neu siop fach? Mae'r CTRh Penbwrdd yn 910mm ×860mm × 695mm-tua maint desg fawr.
Cyfleuster canolig? Mae'r CTRh Semi-Awtomatig (model 8-modfedd) yn 970mm × 1550mm × 2160mm - yn hylaw o hyd, ond bydd angen man penodol arnoch chi.
Ffatri fawr? Model ceudod deuol y CTRh Awtomatig yw 2100mm×2450mm×2200mm-gwnewch yn siŵr bod gennych le i symud o'i gwmpas.
Diogelwch: Nid yw'n-Trafodadwy (Ond Rydyn ni Wedi Eich Cwmpasu)
Mae ein holl fodelau yn bodloni safonau -safonau SEMI S2 ar gyfer diogelwch. Ond mae gan rai fanteision ychwanegol:
Mae gan yr offer RTP Awtomatig stop brys un botwm ac mae'n eich rhybuddio am orboethi neu ddŵr yn gollwng-sy'n hanfodol ar gyfer gweithrediad 24/7.
Mae gan yr offer RTP Penbwrdd seinyddion a goleuadau rhybuddio-syml, ond effeithiol ar gyfer labordai lle gallai rhywun fod yn jyglo tasgau lluosog.
Dal yn Sownd? Rydyn ni Yma i Helpu
Gadewch i ni fod yn onest-weithiau mae angen i chi siarad drwyddo. Os ydych chi ar y ffens (dyweder, gan ddewis rhwng Semi-Awtomatig ac Awtomatig ar gyfer cynyddu cyfaint), gallwn:
Cerddwch trwy'ch llif gwaith presennol a sut y gallech chi raddio.
Dangoswch demo i chi o sut y byddai model yn trin eich proses benodol.
Hyd yn oed tweak model (fel ychwanegu tiwbiau proses ychwanegol) i gyd-fynd â'ch anghenion.
Nid ydym yn gwerthu "un{0}}maint-ffit-pawb"-rydym yn gwerthu ffwrneisi sy'n gweithio i'ch swydd. P'un a ydych chi'n profi deunyddiau newydd neu'n rhedeg llinell gynhyrchu, mae yna fodel sy'n iawn i chi.
Cysylltwch â'n tîm technoleg-byddwn yn eich helpu i ddod o hyd iddo.
